基于小波变换的平板波前死条纹噪声滤除方法

• 作者: 何宇航 刘昂 徐凯源 李大海 柴立群 陈宁
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量与计量 干涉检测 寄生干涉 死条纹 小波变换 光学平板
• 年，卷（期）: 2020,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 179-187
• 页数: 9页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202047.0904008

摘要

高功率激光器的建造需要大量的高精度光学平板,其波前检测一般采用相移干涉技术.由于测试光在光学平板内的多次反射,存在由寄生干涉导致的死条纹现象.死条纹会在波前检测结果中引入周期性相位噪声,极大降低了波前检测结果的置信度.针对该问题,提出了一种基于小波变换的降噪方法,可根据死条纹噪声特征对波前检测结果进行降噪,不需要额外硬件或调整测试状态.实验结果表明,该方法可以有效滤除死条纹引入的相位噪声,且能很好地保留加工特征.