组合倍率极紫外光刻物镜系统梯度膜设计方法

• 作者: 刘陌 李艳秋
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 薄膜 组合倍率 极紫外光刻
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 164-171
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.0522001

摘要

随着极紫外(EUV)光刻物镜的设计朝着组合倍率物镜系统的方向发展,物镜系统需要同时具有大视场和高数值孔径(NA),因而产生了物镜的光线入射角及入射角范围急剧增大的问题,需要研究适用于组合倍率极紫外光刻物镜系统的膜层设计的新方法.提出了渐进优化膜层的设计方法,该方法提高了镀制膜层的物镜系统的反射率,保证了组合倍率物镜系统的成像质量.利用该方法对NA为0.6的组合倍率物镜系统进行了膜层设计,设计结果表明,含膜极紫外光刻物镜系统的平均反射率大于65％,各反射镜的反射率峰谷值均小于3.35％,反射率均匀性良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳秋		57	202	7.0	13.0
2	刘陌		2	2	1.0	1.0