衬底温度对MoOx空穴传输层的影响研究

• 作者: 任丙彦 刘彩池 李宁 谷书辉 韦德远 黄志平
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 空穴传输层 太阳电池 MoOx
• 年，卷（期）: 2020,（7）
• 页码范围: 136-141
• 页数: 6页
• 分类号: TM914
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射技术在不同衬底温度下制备MoOx薄膜,测量结果表明,随着衬底温度的升高,薄膜平整度变好,薄膜的导电性能得到提高;薄膜平均光学透过率也随衬底温度的升高而增大,在360～1200 nm波段的平均光学透过率在82％～89％之间,其中在780～1200 nm波段的光学透过率接近90％;薄膜的光学带隙会随衬底温度的升高而变窄,介于3.31～3.15 eV之间,在25℃下制备的MoOx薄膜带隙最宽为3.31 eV.将所制备的MoOx膜作为空穴传输层应用在Ag/ITO/MoOx/n c-Si/Ag结构的太阳电池,常温下制备MoOx薄膜对应的电池性能相对最佳,得到的太阳电池的转换效率为6.05％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宁		48	413	6.0	20.0
2	谷书辉		1	0	0.0	0.0
3	黄志平		2	0	0.0	0.0
4	韦德远		1	0	0.0	0.0
5	任丙彦		1	0	0.0	0.0
6	刘彩池		1	0	0.0	0.0