基于SU-8聚合物波导的多模干涉型RGB合波器

• 作者: 刘帆 隋国荣
• 来源期刊: 光学仪器
• 关键词: RGB合波器 SU-8聚合物 多模干涉 微型显示
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 应用技术|APPLICATION TECHNOLOGY
• 页码范围: 9-15
• 页数: 7页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2021.03.002

摘要

针对现有的RGB合波器分立元件多、结构复杂、成本高等问题,同时为了满足器件的微型化发展和高效率传输的需求,设计了一种基于SU-8聚合物波导的多模干涉型(MMI)RGB合波器.该合波器通过2个级联的2×1MMI对RGB三个波长进行组合,第一级MMI使R(660 nm)、B(440 nm)光束进行组合输出,第二级MMI使R、B组合光束与G(550 nm)光束进行组合输出.通过对光束传播的仿真,优化了合波器的结构参数,验证了该合波器的有效性.研究结果表明,合波器对RGB三个工作波长的平均传输效率为94.02％,外型尺寸可小到0.04 mm×3.60 mm,并具有较大的工艺制作容差和较小的波长依赖性.该合波器结构简单,便于集成,在保证三个工作波长均获得较高传输效率的前提下实现了器件尺寸微型化,可为未来微型显示器件的研究提供参考.