基于SPECS生产的分子束外延设备样品加热平台的改进

• 作者: 马智锟
• 来源期刊: 分析测试技术与仪器
• 关键词: 分子束外延 样品台加热 测温系统
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 大型仪器功能开发|Instrument Development
• 页码范围: 100-104
• 页数: 5页
• 分类号: O78
• 语种: 中文
• DOI: 10.16495/j.1006-3757.2021.02.004

摘要

改进了分子束外延设备样品加热平台的加热和测温方式,在原有热辐射加热和红外测温的基础上,增加直流电流加热并采用比例积分微分(PID)精密控温装置对样品加热台进行测温和控温.改进后,原有设备所能制备的研究样品范围更广,并且还增加了围绕设备所展开的科研方向,扩充了设备的使用范围.