小型离子源中膜孔静电透镜系统仿真研究

• 作者: 张棋 王国栋 王进伟 林云龙 伊明辉 李涛 唐振宇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子源 膜孔静电透镜 发散角 离子能量
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TN103|O463+.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.201911015

摘要

离子源是各种类型质谱仪、离子加速器、离子注入机、离子束刻蚀机等电真空设备不可缺少的部件,静电透镜系统是离子源的重要组成部分.本文基于圆孔膜片透镜理论及带电粒子在静电场中的运动理论,利用多重物理场软件COMSOL对一种小型化离子源的离子加速系统进行了仿真研究.分析了离子加速区透镜片数为4片、23片时不同位置的圆孔膜片透镜电压对离子束能量及发散角的影响.计算结果表明,离子加速区膜孔透镜数量为4片时,更易于通过透镜电压调节离子束光斑尺寸,当膜孔透镜相对位置为12 mm、透镜电压为510 V时,离子束发散角最小值为3°,离子能量最高值为480 eV.