X射线光电子能谱技术在材料表面分析中的应用

• 作者: 张素伟 姚雅萱 高慧芳 任玲玲
• 来源期刊: 计量科学与技术
• 关键词: X射线光电子能谱 结合能 表面分析 定性分析 定量分析
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 前沿聚焦
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2096-9015.2021.01.08

摘要

X射线光电子能谱技术是一种表面分析技术,不仅能够定性和定量分析材料表面的元素组成和含量,而且可以分析元素的化学价态、化学键等信息.本文通过阐述XPS的基本原理、应用、特点、常见问题及解决办法等,讨论了X射线光电子能谱技术在材料表面分析中的具体应用,并展望了其在计量领域的发展前景.