真空感应熔炼半导体用热轧NiCr靶微观组织和磁性能分析

• 作者: 雷艳华 黄梦真 雷小康
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 关键词: 溅射靶 NiCr合金 热轧 位错 磁性能
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 581-585
• 页数: 5页
• 分类号: TG335
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjvst.202004026

摘要

采用真空感应熔炼方法制备了半导体用NiCr溅射靶,并对其开展不同变形量下的热轧,分析了NiCr合金受到热轧作用后发生的组织形态变化与磁性能改变.研究结果表明:NiCr合金中形成了呈现面心立方结构的镍基固溶体,合金受到热轧作用后发生了晶粒明显细化现象.随着热轧变形量的逐渐增大,(101)晶面择优取向程度先提高后减小,在热轧阶段组织晶粒发生了转动.随着热轧变形增加,观察到位错出现在晶粒内,部分区域发生了位错的相互缠结,晶粒内形成了小角度晶界.热轧后的试样在磁滞回线中心部位存在更多数量的磁滞回线,增大了矫顽力和剩余磁感应强度.随着热轧变形程度的提高,合金矫顽力Hc随之提高,获得更高磁透率,而剩磁Br先逐渐增大后减小,当热轧变形程度达到10％时,Br出现了迅速增大,之后Br不断下降.