高温薄膜快响应传感器的设计及其仿真优化

• 作者: 于广滨 于明新 戴冰 陈杰 张洪泉
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 关键词: 高温薄膜快响应传感器 流热耦合 多物理场仿真 粒子群算法
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 传感器技术|Sensor Technology
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2021.03.003

摘要

高温薄膜传感器在测温过程中,传感器的进气口面积和出气口位置是影响传感器的响应时间和测量误差的重要因素,传统的经验估计法难以对高温薄膜传感器的结构尺寸进行准确的求解,进而产生响应时间较慢、测量误差较大等问题,针对上述问题,采用流热耦合多物理场分析方法对高温薄膜传感器进行了流体热力学仿真.采用粒子群算法对仿真结果进行拟合,获得传感器在不同结构尺寸条件下的响应时间和测量误差的计算方程,以提高仿真结果的普适性,最终通过求解方程获得传感器的最佳结构尺寸,进而改善了传统经验设计的不足,提高传感器的测量精度.