光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计

• 作者: 温众普 吴剑威 邢坤鹏 张银 李结安 谭久彬
• 来源期刊: 工程（英文）
• 关键词: 光刻机 复合节流静压气浮导轨 微结构 工作点 转动刚度
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: Precision Engineering—Article
• 页码范围: 226-237,中插105-中插118
• 页数: 1页
• 语种: 英文

摘要

在光刻机可变狭缝系统(VS)中,紧凑型复合节流静压气浮导轨是实现高精度、高加速度运动的首选结构.研究表明,导轨气浮工作面上加工浅腔、凹槽等微结构可以改善负载性能.然而,微结构微米级变化对导轨性能的影响尚不清晰.文中采用作者提出的网格自适应法,定量研究了微结构四个参数的影响,揭示了微结构变化对导轨负载性能的影响规律,并利用这些规律对微结构参数进行设计.设计方法的特点在于:通过调节浅腔参数,使承载力、刚度和转动刚度的工作点都统一起来.采用文中的设计流程和调整方法,可以在一定程度上缓解供气压力的限制和各项负载性能间的相互制约.实验结果表明,采用该方法所设计导轨的转动刚度达到2.14 × 104 Nm·rad-1,提高了69.8%.在ArF光刻机上的VS上对气浮导轨进行加速扫描实验,平均扫描加速度达到67.5 m·s-2,达到了设计要求.