晶圆级微波测试工艺研究

• 作者: 吕磊 胡晓霞 郑如意
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 关键词: 微波探针台 晶圆级测试 电磁屏蔽
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 测试•测量技术与设备
• 页码范围: 46-51
• 页数: 6页
• 分类号: TN307
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.012

摘要

从微波信号特性和微波器件晶圆级测试工艺要求出发,介绍了微波探针台的主要结构设计,并以某器件测试工艺为例,分别进行测试系统搭建、程序编写、数据读取与分析等描述,同时对该设备的特殊需求及后续发展方向进行展望.