用于半导体生产的扩散/氧化系统整体方案设计

• 作者: 崔严匀 袁敏杰 赵欢
• 来源期刊: 工业加热
• 关键词: 半导体 扩散 气体 总体方案
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 自动控制|AUTOMATIC CONTROL
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TN301.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1639.2021.09.013

摘要

详细介绍了扩散/氧化系统的整体控制方案,阐述了扩散/氧化设备的基本结构.基于显示触摸屏、可编程序控制器、温度检测单元和上位数据处理计算机等硬件装置提出了扩散/氧化系统的下位机控制方案、温度检测方案和输入/输出控制方案.最后通过EasyBuilder 8000软件对扩散/氧化系统的操作界面进行了相应的设计.