基于MEMS的柔性薄膜式动态压力测量带研制

• 作者: 卢翔宇 王勇
• 来源期刊: 兵工自动化
• 关键词: 脉动压力 MEMS 柔性薄膜 压力测量 风洞试验
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 自动测量与控制|Automatic Measurement and Control
• 页码范围: 44-49
• 页数: 6页
• 分类号: V211.74
• 语种: 中文
• DOI: 10.7690/bgzdh.2021.09.010

摘要

针对脉动压力测量中测压点布置困难的问题,对柔性薄膜式动态压力测量带进行研制.根据气动测量的需求,将微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)微型动态压力传感器封装在柔性印刷电路板(flexible printed circuit,FPC)柔性衬底基片上,采用Protel99SE软件完成印制电路板(printed circuit board,PCB)设计.利用标准翼型在风洞开展研究,通过不同的试验条件,对比柔性薄膜式动态压力测量带和传统嵌入式压力传感器两种方法的测量结果,验证了柔性薄膜式动态压力测量带的性能.