应用于光刻机掩模台的自适应前馈控制

• 作者: 谈恩民 石婷婷 张志钢 张霖
• 来源期刊: 控制工程
• 关键词: 自适应前馈 最小二乘法 光刻机掩模台 运动控制
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 运动体控制系统
• 页码范围: 1069-1074
• 页数: 6页
• 分类号: TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.14107/j.cnki.kzgc.20190021

摘要

为了解决光刻机掩模台控制系统中模型参数的不确定性,提出一种带有自适应前馈的运动控制算法.该算法主要特点是以控制器的实际输出与估计输出之间的估计误差最小为优化目标,利用递推最小二乘法在线自动更新前馈系数,使前馈系数更为准确地匹配系统的运动特性.将此方法应用在光刻机掩模台上,利用四阶点对点运动轨迹作为参考位置信号进行仿真实验,验证此控制算法的控制效果.与传统方法相比,自适应前馈控制有效地减小位置误差、缩短了稳定时间,并提升了掩模台系统性能.