超声复合线锯锯切单晶硅的温度场仿真分析

• 作者: 郭明壮 王艳 宋李兴
• 来源期刊: 农业装备与车辆工程
• 关键词: 单晶硅 超声辅助线锯 ABAQUS 热瞬态分析
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 页码范围: 98-102
• 页数: 5页
• 分类号: TB559
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3142.2021.03.021

摘要

单晶硅是一种硬脆性材料,采用超声复合工艺加工可以有效提高单晶硅的加工效率和质量.在超声复合工艺线锯锯切单晶硅的过程中,锯切温度场的分布影响单晶硅片表面质量.鉴于此,从锯切温度入手,分析超声复合工艺线锯锯切单晶硅的原理,建立仿真模型,充分考虑发热机理和各种散热条件,利用仿真软件ABAQUS对锯切单晶硅的过程进行热瞬态分析,分析了在不同参数(锯丝线速度、工件进给速度、工件转速、超声振幅)下锯切的最高温度和变化曲线,为研究超声复合线锯锯切单晶硅的锯切机理提供了一定的研究参考.