非零位拼接检测凸非球面金属反射镜

• 作者: 蔡志华 王孝坤 胡海翔 曾雪锋 王晶
• 来源期刊: 红外与激光工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 拼接检测 凸非球面 非零位 金属反射镜
• 年，卷（期）: 2021,（11）
• 所属期刊栏目: 光电测量|Photoelectric measurement
• 页码范围: 268-273
• 页数: 6页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/IRLA20210061

摘要

随着单点金刚石车削技术和抛光技术的发展,实现了金属反射镜的快速高效低成本制造.然而,金属反射镜的检测手段存在明显不足,尤其是没有一种快速、高效的检测手段用于检测凸非球面金属反射镜.为提高凸非球面金属反射镜的检测效率,提出一种非零位拼接检测凸非球面金属反射镜的检测方法.结合工程实例,对口径为120 mm,顶点曲率半径R为1121.586 mm,二次曲线常数K为-2.38的凸非球面金属反射镜进行了拼接检测实验,拼接所得面形误差均方根值(RMS)为0.016λ(λ=632.8 nm).与Luphoscan检测结果对比,验证了非零位拼接检测方法的检测精度RMS为0.007λ,结果表明该方法能够实现凸非球面金属反射镜的快速、高效检测.