多晶硅正面减反射钝化膜研究

• 作者: 李景 王贵梅 刘月敏 刘苗 许志卫
• 来源期刊: 中国科技纵横
• 关键词: 多晶硅 减反射钝化介质层 管式PECVD 量子效应
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺技术改造及检测检修
• 页码范围: 58-59
• 页数: 2页
• 分类号: TK514
• 语种: 中文

摘要

本文以多晶硅太阳能电池正面减反射钝化介质层薄膜为研究对象,薄膜采用管式PECVD法沉积,试验验证结果表明,通过合理设计工艺参数,氧化硅/氮氧化硅/氮化硅复合介质层薄膜较氮化硅薄膜相比,反射率和量子效应存在明显优势,光电转换效率优势0.1％.