DRC-MME高级参数模型直通标定实验的自由度分析

• 作者: 苗政委 汤媛媛 魏凯 张雨东
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 椭偏测量 白由度 奇异值分解 泡利矩阵 参数标定
• 年，卷（期）: 2021,（20）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量|Instrumentation, Measurement and Metrology
• 页码范围: 64-73
• 页数: 10页
• 分类号: O436.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202141.2012003

摘要

在椭偏测量中,采用直通式标定方法准确标定出系统模型参数对于样品的精确测量至关重要.由于双旋转补偿器式Mueller矩阵椭偏仪(DRC-MME)高级参数模型复杂,参数数量较多,且部分高级参数之间存在相互级联和耦合,为保证标定结果的准确性,实验中各个参数之间的独立性关系需要被检验.针对这一问题,使用奇异值分解、泡利矩阵和其他数学工具,从理论上对DRC-MME直通标定实验的自由度进行研究分析,明确在数据拟合过程中的"无用"参数,并通过仿真实验验证研究分析结果的正确性.最后搭建实验平台,开展了直通标定实验,得到了符合实际物理意义的高级参数标定结果,并使用标定好的高级参数模型对硅衬底上二氧化硅薄膜厚度进行了测量,测量结果与标称值相差1.9 nm,重复测量精度为5.31 pm.所提对直通标定实验自由度的研究分析方法不仅适用于椭偏仪,也可为其他的多参数优化过程提供一个分析思路.