单晶式多晶体纳米金刚石薄膜的电子特性

• 作者: 朱泓达
• 来源期刊: 科学技术创新
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米金刚石膜 费米能级 电子特性 带隙宽度
• 年，卷（期）: 2021,（30）
• 所属期刊栏目: 科技创新
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TQ164
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1328.2021.30.018

摘要

在人工合成金刚石技术日益成熟的背景下,纳米级的金刚石颗粒因其优越的性能,在工业、医学、半导体等领域得到了广泛应用.金刚石薄膜是一种常见的人工合成材料,既保留了金刚石的硬度,同时还具有良好的导热性、化学稳定性、光学透明性,在半导体材料、航空航天工业、大规模集成电路等方面应用前景广阔.本文以纳米金刚石薄膜的电子特性作为切入点,着重分析了不同晶粒尺寸下,分别加入了Si、P和B元素后薄膜的电子特性,为纳米金刚石薄膜的研发和应用提供了一定的参考.