集成电路厂洁净度的实现与优化

• 作者: 余永新
• 来源期刊: 建筑·建材·装饰
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路厂 洁净度 施工 优化
• 年，卷（期）: 2022,（2）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 116-118
• 页数: 3页
• 分类号: TU831
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-3024 .2022.02.040

摘要

好的集成电路厂洁净车间结构设计不仅可以有效节约能源,还能降低企业运行管理成本和降低企业人力成本投入.本文通过厂房内部气流模型分析,来探究集成电路厂的施工、集成电路厂洁净度的检测以及室内环境维护.