高温煅烧氮化硅悬浮液性能研究和涂层应用

• 作者: 王海果 苏成 贾梦秋 邓亮亮 裴迎 .徐州协鑫太阳能材料有限公司 .江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
• 来源期刊: 佛山陶瓷
• 学科: 化学
• 关键词: 氮化硅;高温煅烧;氧含量;悬浮液;石英陶瓷坩埚;多晶硅锭
• 年，卷（期）: 2025,（12）
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 语种: 中文

摘要

为提高氮化硅悬浮液的稳定性以制备均匀致密的氮化硅涂层，本文对氮化硅粉在1130℃空气条件下高温煅烧3h。通过对比煅烧前后氮化硅重量差异，理论计算了氮化硅的氧含量，结合SEM和EDS测试方法，研究了煅烧前后氮化硅形貌和氧含量变化，测试了氮化硅悬浮液电导率，制备了氮化硅涂层用于多晶铸锭。结果表明：高温煅烧氮化硅粉氧含量为4.01%，在纯水和1%粘结剂溶液中具有较高的稳定性，氮化硅涂层均匀致密。