一种微机电系统面内加速度传感器的设计与 仿真

• 作者: 秦立君 罗军 马喜宏 王之哲
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统;加速器传感器;面内;电容式;结构分析;优化设计;仿真
• 年，卷（期）: 2025,（6）
• 页码范围: 39-45
• 页数: 7页
• 语种: 中文

摘要

构建了一种新型的微机电系统面内加速度传感器。采用了“工”字形的质量块设计，应用了电容式的敏感机理。加速度传感器在敏感轴方向的加速度信号的作用下，通过质量块的位移来改变极板间的电容，能对x、y方向的加速度信号的变化做出响应，并给出相应的值。通过ANSYS软件对该结构进行仿真分析验证，得到了相关的数表和图形结果。并在此基础上进行了优化分析，完善了传感器的性能，提高了传感器的固有频率，减少了质量块的运动行程，同时减少了对z轴向的灵敏度，使其达到了设计目标。