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四川真空
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四川省真空学会
国投南光有限公司
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半年刊
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610062
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要：
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： 本文介绍了从俄罗斯引进的快速响应真空送气阀（ＰＶ阀）性能的测试实验。实验包括阀门在连续流送气和脉冲送气两种工作状态的性能测试。初步实验结果表明：在一个大气压的输入气压下所测阀门的最大流量达２...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： 本文报道了在维修日本ＨＩＴＡＣＨＩ公司透射电子显微镜高压电子枪过程中发现的喷射氟里昂是真实检漏中一种简单而实用的方法。维修后高压电子枪的真空度达到１．３３×１０＾－３Ｐａ，灯丝的寿命超过７０...
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4. 油箱燃油泄漏的检漏技术刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要：
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5. 高漏抗变压器设计计算探讨刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要：
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： 本文主要介绍多晶硅薄膜的淀积方法。对热壁ＬＰＣＶＤ多晶硅薄膜的表面形貌以及掺磷后的薄膜电阻进行分析。其次简要叙述了多晶硅薄膜在硅ＣＣＤ多路传输器研制中的应用。
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： 着重介绍混合式硅化铂肖特基势垒红外焦平面阵列（ＨＰｔＳｉ－ＳＢＩＲＦＰＡ）的典型结构和现状。
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： ＨＬ－１Ｍ装置采用Ｃ２Ｂ１０Ｈ１２蒸汽等离子体增强沉积技术对第一壁进行了原位硼化，在第一壁表面上形成一层半透明、非晶ａ－Ｂ／Ｃ：Ｈ膜。在单电极、１．２Ａ／７５０Ｖ放电参数下，平均沉积速率为１...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要： 本文详尽地探讨高真空及超高真空中的残余气体的质谱分析方法，并运用这些方法在ＬＡＳ－２０００二次离子质谱仪上进行了应用研究，使我们对ＬＡＳ－２０００的本底真空有所了解，发现其超高真空中含较多的...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年1期页码:摘要：
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11. 我国真空获得技术产品的现状及建议刊名： 四川真空发表期刊： 1997年2期页码:摘要：
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12. 双级油封式机械真空泵的改进刊名： 四川真空发表期刊： 1997年2期页码:摘要： 地光实业股份有限公司真空获得设备高级工程师荣道发退休后研究了几项专利，其中的双级油封式机械真空泵、构思独特、效果诱发，现根据专利说明书摘要介绍如后。
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13. CCD多路开关组件的研制刊名： 四川真空发表期刊： 1997年2期页码:摘要： 采用三层多晶硅交迭栅三相埋沟结构，设计并研制成功了６０路ＣＣＤ多路开关动态范围≥５０ｄＢ，转移效率≥９９．９９％；非均匀性±５％；最小输入５ｍＶ；最大输入信号２Ｖ；输入积累时间１３４μｓ；串...
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14. 硒化铅红外探测器的性能参数分析刊名： 四川真空发表期刊： 1997年2期页码:摘要： 本文主要介绍硒化铅红外探测器在不同工作温度下的性能数据，并且简要叙述了该探测器的性能参数的测试条件。
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15. 氘束轰击石墨化学腐蚀的实验进展刊名： 四川真空发表期刊： 1997年2期页码:摘要： 在ＳＭＦ－８００石墨第一壁化学腐蚀温度特性的实验研究基础上诸多进一步测试了Ｇ３石墨，ＳＭＦ－８００高纯石墨和硼化石墨，以及ＳｉＣ镀层等在３ｋｅＶ／１，３μＡ氘束轰击下化学腐蚀的温度特性。从中...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年2期页码:摘要： 分别用１０％ＳｉＨ４＋９０％Ｈｅ辉光放电和真空室原位蒸锂并借助Ｈｅ辉光放电的等离子体气相沉积法对Ｈ－１Ｍ装置的内壁进行了硅化和锂涂复，进一步降低了装置硼化后的杂质和辐射功率损失，对氢有强轴气...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年2期页码:摘要： 借助ＱＭＳ诊断技术，完成了ＨＬ－１Ｍ装置Ｂ化，Ｓｉ化与Ｌｉ化壁的出气特性的对比实验研究。ＧＤＣ期间，Ｈ２出气占支配地位，杂质分压与Ｈ２分压成正比，ＧＤＣ后的本底放气率较同时间烘烤去气后低；Ｇ...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年2期页码:摘要： 通过对ＨＬ－１Ｍ的氦直流辉光放电清洗（ＨｅＧＤＣ）的放电特点和清除效率的研究，发现环形真空室的对称性导致与阳极截面相对称的截面的电场为零的中性截面，该截面及附近的场强很弱，使其阴极位降区的厚...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1997年2期页码:摘要： 在托卡马克放电期间，低杂波（ＬＨＷ）注入，弹丸注入，分子束注入（ＭＢＩ） 气均不同程度地引赶快避部等离子体电位的快速变化，从而改变了电场分布，改变了边缘等离子体的流速和方向。
四川真空基本信息
| 刊名 | 四川真空 | 主编 | |
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| 主办单位 | 四川省真空学会 国投南光有限公司 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 半年刊 | 语种 | |
| ISSN | CN | ||
| 邮编 | 610062 | 电子邮箱 | |
| 电话 | 028-290541 | 网址 | |
| 地址 | 成都市第109信箱207分箱 |
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