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LSI制造与测试期刊
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LSI制造与测试1990年出版文献
出版文献量(篇)
366
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LSI制造与测试
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投稿
主办单位:
上海光学仪器研究所
ISSN:
CN:
31-1459/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
200062
地址:
上海江西中路450号
出版文献量(篇)
366
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6期
5期
4期
3期
2期
1期
1989年
目录
1.
微电子工艺设备现状兼论上海发展对策
作者:
庄松林 沈建森
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年1期
页码: 
6-21
摘要:
2.
90年代的CVD:工艺,设备及市场
作者:
章宏睿
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年1期
页码: 
22-27
摘要:
3.
砷化镓超高速电路概述
作者:
夏冠群
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年1期
页码: 
28-32
摘要:
4.
扫描声学显微镜及在微电子技术中的应用
作者:
肖化明
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年1期
页码: 
33-36
摘要:
5.
超静环境的发展方向
作者:
早川一也 杨美德
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年1期
页码: 
39-42
摘要:
6.
关于CZ单晶炉速度精度测试试问题
作者:
陈巨方
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年2期
页码: 
1-5
摘要:
7.
用于硅片线形检测的成象理论
作者:
孙杨远 郁伟
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年2期
页码: 
6-10
摘要:
8.
XLC—1型电视摄像微细尺寸检测系统
作者:
王伯雄 薛实福
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年2期
页码: 
11-15
摘要:
9.
光刻中紫外光探测的方法和仪器
作者:
郑晓东
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年2期
页码: 
16-18
摘要:
10.
光CVD原理及装置
作者:
景俊海
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年2期
页码: 
19-22
摘要:
11.
片子表面质量检查仪器的新发展
作者:
杨建忠
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年2期
页码: 
23-27
摘要:
12.
IC制造中洁净室最新设计技术
作者:
蔡君质
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年2期
页码: 
28-33
摘要:
13.
显微物镜下待检硅片的自动检测和调焦技术
作者:
路敦武
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年2期
页码: 
34-36
摘要:
14.
P10—2/ZF型全自动金丝球焊机
作者:
杨兆平
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年3期
页码: 
1-3
摘要:
15.
全自动金丝环焊接机夹具控制器的研制
作者:
杨兆平
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年3期
页码: 
4-6
摘要:
16.
全自动金丝球焊接机电控部分研制
作者:
彭祁雪 黄晓东
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年3期
页码: 
7-14
摘要:
17.
超大规模集成电路制造中光学检测设备的最新发展
作者:
周茜渊 邹海兴
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年3期
页码: 
15-24
摘要:
18.
价值工程原理在C06—1型砂磨机设计中的应用
作者:
乔中奇
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年3期
页码: 
25-30
摘要:
19.
深冷真空泵机组
作者:
陶世宏
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年3期
页码: 
31-36
摘要:
20.
投影光刻的干涉效应
作者:
邹海兴
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年3期
页码: 
37-41
摘要:
21.
“微细加工光学技术”国家开放实验室的展望
作者:
邬纪泽
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年3期
页码: 
42-46
摘要:
22.
光学和光电子学
作者:
沈建森
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年3期
页码: 
47-48,F003,F004
摘要:
23.
国外电子材料与器件微分析中心近况
作者:
宗祥福 袁榘
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年4期
页码: 
2-6
摘要:
24.
微电子产业中的微分析技术
作者:
任云珠 王家楫
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年4期
页码: 
7-13
摘要:
25.
二次离子质谱—微分析的有力工具
作者:
张永夏 曹永明
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年4期
页码: 
14-18
摘要:
26.
透射电镜与LSI微分析
作者:
秦玮 陈一
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年4期
页码: 
19-23
摘要:
27.
集成电路工艺与XPS分析
作者:
李川 陈一
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年4期
页码: 
24-28
摘要:
28.
俄歇电子谱术及微区分析
作者:
张强基 王家楫
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年4期
页码: 
29-34
摘要:
29.
扫描电镜(SEM)在微电子技术中的应用
作者:
杨兴 神承复
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年4期
页码: 
35-38
摘要:
30.
卢瑟福背散射分析技术(RBS)
作者:
宋玲根 徐志伟
刊名:
LSI制造与测试
发表期刊:
1990年4期
页码: 
39-42
摘要:
共
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LSI制造与测试基本信息
刊名
LSI制造与测试
主编
曾用名
主办单位
上海光学仪器研究所
主管单位
出版周期
双月刊
语种
ISSN
CN
31-1459/TN
邮编
200062
电子邮箱
电话
021-650226
网址
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