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LSI制造与测试1996年第6期出版文献

出版文献量（篇）

366

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LSI制造与测试

投稿

主办单位：

上海光学仪器研究所

ISSN：

CN：

31-1459/TN

出版周期：

双月刊

邮编：

200062

地址：

上海江西中路450号

出版文献量（篇）

366

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热门刊内文献

年度刊次

1. 我国集成电路设备取得长足进步

作者：王勃华

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 2-3

摘要：
2. 0.1微米空气洁净设备研制

作者：章汝熙陆起瑞

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 4-6

摘要：
3. 0.8—1微米分步重复投影光刻机研制

作者：吴耀才陈旭南

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 7-11

摘要：
4. LC—13型强流氧离子注入机

作者：刘湘德

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 12-13

摘要：强流氧离子注入机是用于研制开发ＳＩＭＯＸ材料所需的关键设备。该项目的研制具有一定的难度，在国内尚属首例。本文描述了ＬＣ－１３型强流氧离子注入机主要性能指标及技术难点。
5. 自动投影光刻机

作者：袁君毅

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 14-21

摘要：直接在硅片上分步重复曝光的自动投影光刻机，是目前１Ｍ、４ＭＤＲＡ及更高集成度各种超大规模集成电路生产的主流光刻工具，本文简要介绍深圳丰德微电子有限公司以引进，消化，吸收与单元技术相结合的方式...
6. AUEL—Ⅲ型自动椭偏仪

作者：罗晋生

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 22-25

摘要：本文介绍了我们研制成功的实用化的ＥＬ－Ⅲ型自动椭偏仪，经专家鉴定和用户使用证明本仪器的实用化和实用化和商品化程度高，功能和技术指标与国外同类产品相当，达到国际先进水平。
7. ZZSX—800A型电子束蒸发设备

作者：陈素君

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 26-28

摘要：
8. XCY—2型线宽测量仪

作者：李庆祥薛实福

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 29-32

摘要：
9. 扩展电阻测试仪

作者：包宗明王善鹤

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 33-36

摘要：
10. TY—1型台阶测量仪

作者：李庆祥薛实福

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 37-39

摘要：
11. TZ0—109型全自动探针中测台

作者：宋翠英

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 40-42

摘要：
12. 探索,拼搏与奉献

作者：查明瑞

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 43-46

摘要：
13. 硅片平整度检查仪

作者：柯重荣

刊名： LSI制造与测试

发表期刊： 1996年6期

页码: 47-48

摘要：

LSI制造与测试基本信息

刊名	LSI制造与测试	主编
曾用名
主办单位	上海光学仪器研究所	主管单位
出版周期	双月刊	语种
ISSN		CN	31-1459/TN
邮编	200062	电子邮箱
电话	021-650226	网址
地址	上海江西中路450号