AUEL—Ⅲ型自动椭偏仪

• 作者: 罗晋生
• 来源期刊: LSI制造与测试
• 学科: 工学
• 关键词: 自动椭偏仪 半导体集成电路 测量
• 年，卷（期）: 1996,（6）
• 页码范围: 22-25
• 页数: 4页
• 分类号: TN453.07

摘要

本文介绍了我们研制成功的实用化的ＥＬ－Ⅲ型自动椭偏仪，经专家鉴定和用户使用证明本仪器的实用化和实用化和商品化程度高，功能和技术指标与国外同类产品相当，达到国际先进水平。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗晋生	西安交通大学电信学院	28	194	7.0	13.0