电子工业专用设备期刊
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
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  • 作者: 刘玄博 周庆奎 李霖
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  1-3,30
    摘要: 基片与掩模版(或找平版)找平技术是掩模光刻机中的一个关键技术,找平的结果直接决定了光刻机的分辨率精度.找平的目的就是要实现掩模版平面和基片平面的平行,实现基片与掩模版在移动到设定的一个微小间...
  • 作者: 李久芳
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  4-6
    摘要: 通过对CCD相机采集的图像存在的畸变,提出了一种对畸变图像进行校准的方法.校准算法采用标准的棋盘格,利用仿射变换对图像表面规则分布的特征点建立查找表,查找并分析特征点,计算出变形量,然后修正...
  • 作者: 刘威成 王慧勇 贾京英 颜秀文
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  7-9,13
    摘要: 简要介绍了高温离子注入靶室的设计.通过设计辅助加热装置使离子注入时晶片表面温度达到500℃以上,并通过靶盘旋转和往返平移扫描的方式实现了晶片片内和片间的温度均匀性,满足了碳化硅掺杂、SOI晶...
  • 作者: 兰天平 林健 牛沈军
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  10-13
    摘要: 低阻GaAs单晶的获得,一般是通过掺入掺杂剂Si来实现的.本文分析了VB-GaAs单晶的掺Si机理及作用,并在理论掺杂公式的基础上,通过实验和理论分析,确定了掺杂剂量的经验关系式.按此公式,...
  • 作者: 刘玉倩 张文 王慧 靳卫国
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  14-16,26
    摘要: 对全自动太阳能印刷系统的硅片自动对准的原理进行详细描述,对其可行性及计算方法进行分析,寻找可能产生的误差及其范围,并指出减小误差的措施.
  • 作者: 冯小强 宋伟峰 宋婉贞 赵永进
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  17-18,40
    摘要: 太阳能作为一种无污染、可持续发展的新兴能源,已经引起世界各国的广泛关注,只有充分提高光照的利用率,才能最大限度的利用太阳能.提出一种简易的太阳跟踪装置,该装置采用双轴联动,齿轮传动,能够实时...
  • 作者: 佀海燕
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  19-21
    摘要: QFD目前在国外很多企业已有效地应用于新产品开发,并取得了显著成效.缩短开发周期,减少设计更改,降低开发成本,这就使企业开发的新产品处于比竞争对手更优势的地位.简单介绍了QFD的基本概念、分...
  • 作者: 周建生 张菊 高金龙 高阳
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  22-26
    摘要: 以全自动切割机为研究对象,针对图像自动对焦模块,通过在时域和频域对图像的分析和解释.不仅阐述了图像的视觉特性.而且证明了视觉梯度误差的存在性.通过分析与研究目前正在探索和发展的4种图像清晰度...
  • 作者: 于丽娜
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  27-30
    摘要: 设计了一种可以实现柯勒照明的高功率LED同轴光源.利用光学设计软件ZEMAX给出了设计模型,用照明分析软件Trace-pro进行光线追迹,并对照明面的均匀性进行了分析.
  • 作者: 海洋
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  31-34,45
    摘要: LED阵列封装是高密度电子封装的解决方案之一,LED的光集成度得到提高,总体输入功率提高,但同时其发热量大,封装结构如果不合理,那么在温度载荷下各层材料热膨胀系数的差异将会导致显著的热失配现...
  • 作者: 张塍
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  35-40
    摘要: 从分析企业设备绩效激励失效的成因出发,借鉴和运用西方的激励理论,对设备绩效考核存在的问题进行了较为系统的研究与分析.对企业设备激励工作失效的原因进行较为详细而系统的分析且运用激励理论提出一种...
  • 作者: 王建雄 董哲 赵晓东
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  41-45
    摘要: 扼要介绍了全自动绕线机设备的功能和用途,以及此设备的主要技术指标.然后介绍了其主要的机械结构设计和控制系统设计,其中绕线的X轴与S轴的相互配合是此设备的难点和重点.
  • 作者: 董哲 赵晓东
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  46-48,51
    摘要: 介绍了液晶灌注的工艺,工作原理,并详细阐述了液晶灌注设备的技术特性,机械结构,电器控制等部分,其中分段抽真空以及消除液晶里的气泡是本设备的特点.
  • 作者: 李玉敏
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  49-51
    摘要: 介绍了一种掩模版制版用夹具装置,该装置具有准确的定位功能,能够自动补偿片厚误差,可进行真空复印使母掩模版与子掩模版紧密贴附,操作方便等特点.
  • 作者:
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  52-54
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  55
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  56
    摘要:
  • 作者: 金存忠
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  57-58
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2010年11期
    页码:  58-69,后插1
    摘要:

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

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1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

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