纳米技术与精密工程(英文)期刊
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纳米技术与精密工程(英文)

Nanotechnology and Precision Engineering
曾用名: 纳米技术与精密工程

CSTPCD

影响因子 0.4753
本刊是纳米技术与精密工程领域专业性学术期刊,主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者.欢迎国内外作者踊跃投稿. 本刊为美国《工程索引》EI和中国科技论... 更多
主办单位:
天津大学 中国微米纳米技术学会
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
出版周期:
季刊
邮编:
300072
地址:
天津市南开区卫津路92号
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  • 作者: 张璧 郑小林 郝晓东
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  161-172
    摘要: 提出了一个模拟线性压电马达运动特性的动态模型.该模型考虑了马达压电元件的运动顺序,将压电马达视为一个具有变接触刚度与变阻尼系数的两自由度动态系统.其本构方程考虑了压电元件的机-电耦合效应.该...
  • 作者: 庄毅 张玉梅 潘飞 王华平 王彪
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  173-176
    摘要: 纳米二氧化钛是一种重要的无机功能材料.以化学沉淀法制备了纳米TiO2以及Al/Si原位掺杂纳米TiO2粉体,利用透射电镜(TEM)、差热式扫描量热仪(DSC)、X射线衍射仪(XRD)以及X光...
  • 作者: 段智勇 王庆康
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  177-180
    摘要: 为克服已有压电驱动器存在的结构及控制系统复杂、定位行程小等缺陷,利用压电陶瓷的逆压电效应设计并制作了一种新型的压电纳米步进驱动器,建立光栅测试系统对这种压电驱动器的动态性能进行了测试.将压电...
  • 作者: 孙景 杜希文 杨星 杨晶 翟琪 雷贻文
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  181-184
    摘要: 在常温常压下,采用脉冲激光作用循环的石墨悬浮液,收集并烘干得到样品B,另一部分用高氯酸进行酸煮提纯提到样品A.对样品A、B分别进行高分辨电子显微镜(HRTEM)和显微拉曼光谱(Micro-R...
  • 作者: 于同敏 宋满仓 沈永康 王敏杰 郭东明
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  185-188
    摘要: 在IC封装中,覆晶封装拥有低成本、低交介口及体积小的特色.文中主要探讨了覆晶封装底胶充填时,锡球、芯片及基板间的流动状况.所使用的制程参数为进浇型式、射出压力、充填时间及锡球尺寸.进浇型式有...
  • 作者: 林晓辉 袁承超 陈云飞 陈益芳
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  189-193
    摘要: 化学镀镍技术是一种有效的表面微机械加工艺,为此介绍了碱性溶液中硅表面化学镀镍的工艺过程及其镀液稳定性测试方法.化学镀镍是一个表面自催化的氧化还原过程,基底表面的前处理十分关键,对整个实验过程...
  • 作者: 张昱 潘武
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  194-198
    摘要: MEMS封装是在微电子封装技术基础上发展起来的一项关键的MEMS技术.首先提出了MEMS封装设计的一些基本要求,包括封装等级、封装成本、环境影响、接口问题、外壳设计以及热设计等方面.在此基础...
  • 作者: 刘本东 周煜 李德胜 李浩群
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  199-203
    摘要: 为研究压电薄膜驱动的应用,介绍了一种MEMS压电喷墨打印机喷头的工作原理.重点研究了逆压电效应作用产生的机械振动特性.模型结构由一种耐热玻璃与沉积在其表面的压电薄膜复合而成.针对圆形、方形两...
  • 39. 简讯
    作者:
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  203
    摘要:
  • 作者: 周红秀 张振宇 高峰
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  204-208
    摘要: 针对国内各种结构并联微动机器人结构复杂、不易标定等问题,提出了一类新型的结构解耦可重组模块化并联微动机器人.根据任务要求,利用并联微动机器人构型原理,选择不同的运动支链模块可构建3-6DOF...
  • 作者: 前田龙太郎 单学传 王振峰 金玉丰
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  209-215
    摘要: 由微型燃烧器、微型压缩机和涡轮组成的微型气体涡轮发动机有望成为微机电系统的能源系统.阐述了一种微型燃烧器的设计和加工.设计时力图增加流路的长度,其目的是减少微型燃烧腔的热损失和有效地对燃料和...
  • 作者: 张志辉 李荣彬 杜雪 王素娟 高栋
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  216-221
    摘要: 微结构光学元件是一种微小的拓扑元件,通常分为微沟槽列阵、锥形列阵以及微透镜列阵等.这些微结构光学元件能在一些手持装置(例如手机)的平板显示器上得到先进的光学应用.由于产品微型化的需求越来越紧...
  • 作者: 文莉 王海 褚家如
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  222-226
    摘要: 提出了一种新的基于并行探针的扫描等离子体刻蚀加工方法,设计并研制了其中的核心器件--微小等离子体反应器,测量了该器件的伏安特性曲线,分析了其电学性能随工作气压和器件尺寸的变化规律,以及器件损...
  • 作者: 宗晓斌 张书练
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  227-231
    摘要: 主要介绍了激光频率分裂技术的两种新应用,包括用两种方法克服强模竞争以获得频差可覆盖1~40MHz的双频激光器,以及将一个双折射双频激光器本身用作一个位移传感器.这种双频激光器可以填补塞曼激光...
  • 作者: 姚建铨 张帆 王瑞康 王鹏 马振鹤
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  232-235
    摘要: 光学相干层析成像(OCT)是一种用于生物组织成像的新型技术.该技术在非接触及无创成像方面的分辨率可达到微米量级.目前,大多数的OCT系统主要为时域OCT,为获取深度图像,需要对参考臂的光程进...
  • 作者: 倪玉婷 徐涛 武星 葛春风
    发表期刊: 2005年3期
    页码:  236-239
    摘要: 氧含量检测是生物医学界一个重要课题,故研制开发了以荧光氧淬灭为原理的氧检测实验系统.通过采用Marquardt-Levenberg非线性模拟,表明该实验系统能够真实可靠地反映媒质中氧含量状态...
  • 作者:
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  241-248
    摘要: MEMS轮廓检验在实质上通常都是三维的,而所荻取的3D点云数据常常没有被充分利用.这种次优化的应用也正是由3D数据和3D模型的比对过程中存在的难点所引发的.给出了旨在减小3D数据分析负担的各...
  • 作者:
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  249-256
    摘要: 机床轴沿轴向运动的直线度是最重要的性能指标.描述了不同的直线度测量方法(直尺法、钢丝绳法、激光干涉仪法、局部垂直度测量及球板和球杆法等),并讨论了这些方法对测量移动长度超过2000 mm的机...
  • 作者: 孟永钢 李翠红 温诗铸 田煜
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  257-261
    摘要: 基于蠕动运动原理,利用超磁致伸缩材料作为驱动元件研制了直线式蠕动进给机构,同时还研制了压电陶瓷-柔性框架式蠕动进给机构.后者放置于前者之上,构成了具有毫米级行程、纳米级定位精度的XY二维精密...
  • 作者: 刘书桂 张国雄 王学影 王斌
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  262-267
    摘要: 关节臂式柔性三坐标测量系统是一种新颖的基于旋转关节和转动臂的三坐标测量系统,以角度测量基准取代了长度测量基准,它具有量程大、体积小、重量轻及使用灵活等优点.首先基于Denavit-Harte...
  • 作者: 姜歌东 孙挪刚 梅雪松 陶涛
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  268-272
    摘要: 用球杆仪和光栅尺同时测量了两轴联动精密工作台的走圆运动.结果显示,光栅尺的主要误差源是测量噪声和定位误差,球杆仪的主要误差源是定位误差.尽管对于单轴实时位置反馈来说,光栅尺的测量精度已经足够...
  • 作者: 吴亚雷 朱龙洋 褚家如 许晓慧 鲁健
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  273-277
    摘要: 品质因数(Q值)是影向微悬臂梁设备灵敏度的关键因素.针对微悬臂梁在空气中品质因数低的问题,利用基于DSP的数字锁相技术,通过一种正反馈方法,对微悬臂梁的振动能量损耗进行补偿,将微悬臂梁的品质...
  • 作者: 杨密 牟新明 王建华
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  278-282
    摘要: 为了提高平行簧片机构的导向精度,对平行簧片机构进行了力学分析和计算.运用材料力学理论方法,对平行簧片机构进行了精确的受力分析,建立力学模型,推导出了平行簧片机构在外力作用下产生变形的计算公式...
  • 作者: 宋飞 王奕松 王欣 陈兢
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  283-289
    摘要: 提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计.根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证输出电压与加速度之间的线性度.系统刚度可由静电力调节.为了提高电学灵敏度,在检测电容极板上...
  • 作者: 余海燕 肖松山 范世福 陈禾
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  290-294
    摘要: 微流控芯片是"芯片实验室"发展的重点,微混合器是微流控芯片的重要作用形式,在微尺寸下获得高效混合是重要的研究方向.采用Fluent软件对T型管两液流混合过程进行了数值模拟,对三种典型速度流型...
  • 作者: 丁建宁 王权 程广贵
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  295-298
    摘要: 在航空航天领域飞行器的微型化进程中,各种推进器必须携带燃料,这增加了系统的复杂性.有效提取真空中的"零点能"并以此作为驱动能源,可以消除长期以来微型飞行器须携带燃料的问题.从理论上阐述了真空...
  • 作者: 傅星 李梦超 胡小唐
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  299-302
    摘要: 微振动是提高纳米测量精度的主要障碍,为了减小微振动在STM测量中的影响,需要对微振动进行隔离和检测.因此,抗振、隔振及振动补偿技术成为了纳米测量领域的一大分支.设计了基于隧道效应的纳米级振动...
  • 作者: 修向前 刘斌 张荣 施毅 朱顺明 江若琏 谢自力 赵红 郑有炓 韩平 顾书林
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  303-306
    摘要: InN材料具有着巨大的应用潜力,伴随着本身特性的揭秘,已成为最近两年内最热门的研究材料之一.介绍了InN纳米线的基本特性,讨论了InN纳米线材料的制备技术及其应用.利用CVD法研制的GaN纳...
  • 作者: GENDA Satoshi KIYONO Satoshi KUDO Yasuto Patten A John 高伟
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  307-313
    摘要: 给出了一种用于复杂表面形状精密纳米加工的探针装置.该探针由一个高速可控的金刚石切割单元(FTC单元)和一个高灵敏度的压电式力传感器组成.而FTC单元由一个单点金刚石切割工具和一个压电陶瓷晶体...
  • 作者: 朱涛 李艳秋
    发表期刊: 2005年4期
    页码:  314-318
    摘要: 作为极紫外光刻机的一个关键子系统,真空工件台的精度、速度、加速度、动态特性及同步性能对于光刻图形精度和光刻机的产率都起着重要作用.设计了一种适用于极紫外光刻机的真空工件台系统,该系统具有体积...

纳米技术与精密工程(英文)基本信息

刊名 纳米技术与精密工程(英文) 主编 胡小唐
曾用名 纳米技术与精密工程
主办单位 天津大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 季刊 语种
eng
ISSN 1672-6030 CN 12-1458/03
邮编 300072 电子邮箱 namijishu@tju.edu.cn
电话 022-27892181 网址 http://nmjsyjmgc.tjujournals.com/
地址 天津市南开区卫津路92号

纳米技术与精密工程(英文)评价信息

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