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纳米技术与精密工程(英文)2007年第4期出版文献
出版文献量（篇）
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纳米技术与精密工程(英文)
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本刊是纳米技术与精密工程领域专业性学术期刊,主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者.欢迎国内外作者踊跃投稿.
本刊为美国《工程索引》EI和中国科技论...
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主办单位：
天津大学
中国微米纳米技术学会
ISSN：
1672-6030
CN：
12-1458/03
出版周期：
季刊
邮编：
300072
地址：
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 近年来,微米纳米科学技术发展迅速,在产业化方面已经取得了不少进展.本文从发展现状和趋势上,结合我国具体情况,阐述了以下观点:开展创新工艺和设计方法研究,提高微机电(MEMS)应用和产业化能力...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 硅微机械加工的梁、桥和板是微纳器件的基本结构;杨氏模量是描述力学性能的基本参数.用半连续方法计算了不同厚度的(001)硅纳米板沿[100]方向和[110]方向的应变能,并由此得到了两个方向上...
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3. 薄膜制备中的微蚀孔问题刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 研究了自终止腐蚀停法制备浓硼重掺杂硅薄膜的腐蚀孔问题.许多MEMS结构需要进行2次或2次以上的深刻蚀,有些需要在多次深刻蚀后释放超薄的悬空薄膜结构,这时薄膜表面极易出现微小的腐蚀孔.分析可知...
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4. 基于X光光刻的亚波长光栅刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 描述了一种新的亚波长光栅的微细加工技术,即X光光刻得到相应的亚微米级的线宽图形,再利用显影技术获得了高深宽比的立体亚波长光栅.用此纳米加工技术获得了栅距为500nm、250nm、150nm,...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 通过选择性离子注入,在硅片表面形成P区、N区紧密接触的PN结结构.实验发现,在黑暗条件下,PN结N型区域可被HF酸或BOE溶液选择性腐蚀;该腐蚀速率与HF酸溶液浓度有关,随环境温度升高而加快...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 采用聚合物溶液和熔体浸润多孔阳极氧化铝(AA0)模板的物理方法,成功制备了通孔的热塑性聚氨酯(TPU)纳米管及其阵列结构.扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)测试表明:有效地调...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 提出了一种基于锆钛酸铅(PZT)压电厚膜致动器阵列驱动的MEMS微变形镜,建立了该微变形镜的结构模型,分析了其结构中各层厚度对其性能的影响.PZT压电厚膜是通过基于PZT压电陶瓷体材料的湿法...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 结合光子晶体和表面等离子体共轭(surface plasmon resonance,SPR)技术,研究了一种新型的MEMS红外光源.相比传统的红外光源,该新型光源具有红外光谱窄、红外发射峰位...
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9. 亚波长金属光栅偏振器设计刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 针对仿生微纳导航传感器敏感波段380～520 nm的要求,基于严格耦合波理论,设计了一种适用于蓝紫光波段的金属光栅偏振器,并应用等效介质理论直观地分析了金属光栅偏振器的工作原理.所设计的金属...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 对谐振式微机械传感器的敏感元件--微机械谐振梁的谐振频率特性进行了详细的实验研究,并从理论上分析了激励功率对谐振频率的影响.实验结果表明,谐振频率随着激励功率的增加而近似线性减小,当激励功率...
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11. 基于应力集中的压阻式微悬臂梁设计刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 为了提高应力检测的灵敏度,提出了一种基于应力集中的新型压阻式微悬臂粱设计方法.首先,通过在硅基悬臂梁上加工出一些条缝结构作为应力集中区域,利用应力集中效应来提高应力检测的灵敏度,并在梁上沿硅...
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12. 聚酰亚胺微悬臂梁理论及实验刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 设计制作了一种电磁驱动式悬臂梁.为降低驱动电流,选择柔韧性较好的聚酰亚胺(PI)作为梁结构材料,其优良的绝缘性和耐热性保证了驱动线圈的功能实现.通过理论计算及有限元模拟仿真对悬臂梁动力响应及...
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13. 可靠性预计模型刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 微加速度计是集微电子与机械于一体的加速度敏感元件.微加速度计的应用越来越广泛,但是其可靠性问题成为制约微加速度计市场化的关键因素.为了预计压阻式微加速度计的可靠性,分析了一个完整的压阻式微加...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 对两种横向变形的终止位置定位机构进行了力学分析,选择对被定位件滑块卡入阻力小的终止位置定位机构结构形式.根据少装配原则与满足MEMS整体系统性能要求相平衡的设计思想,将MEMS定位机构和基座...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 设计了一种基于Σ-Δ调制器技术的新型电压.频率转换器,可用于加速度计接口电路将模拟电压信号转换成相应的频率输出信号,且其对于恒定输入电压具有稳定的输出频率,具有正负两种转换特性.采用中国电子...
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16. 浮动基准法无创血糖浓度检测技术刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 介绍了浮动基准法无创伤测量血糖浓度的原理,并模拟研究了其关键因素--径向检测基准位置的存在条件.在径向检测基准位置,漫反射光对葡萄糖浓度变化不敏感,因而可以作为内部基准来消除人体生理背景变化...
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17. 细胞阻抗谱检测芯片的设计及实验刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 通过一类细胞电阻抗谱微芯片的设计制作及相应观察和测试系统的搭建,提出了一种微量细胞样品活性的新型电学检测方法.一系列的HeLa细胞实验表明,通过细胞悬浮液微滴的电阻抗谱信息不仅能够分辨不同性...
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18. 振动式压电发电机的理论模型与实验刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 为了预测振动式压电发电机的谐振频率和输出功率等参数,Rounay等以悬臂梁末端挠度为自由度,建立了发电机的理论模型,但该模型忽略了质量块中心挠度与悬臂梁末端挠度的差异,在质量块长度较大时有较...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 提出了一种基于正交衍射光栅作为测量基准元件的二维激光干涉测量系统.利用正交光栅的空间对称级的衍射光进行干涉,基于多普勒效应,采用偏振检测的方法获得相位相差90°的干涉信号.通过光电检测把获得...
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20. 实时中天寻北算法刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 中天法是机械陀螺仪精密寻北中最常用的测量方法之一,但是传统中天法测量一般需要1～1.5个以上中天周期才能得到测量结果,严重影响到测量速度.文中介绍了中天法寻北理论,并根据陀螺仪运动规律,提出...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 在忽略了其他微尺度效应的前提下,讨论了黏性修正和壁面滑移对微间距平板Poiseuille流动稳定性的影响.利用固壁对流体分子的作用力修正流体表观黏性,从而使流体表观黏性成为离壁面距离的函数....
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 以薄膜内应力为指标,对SU-8负性光刻胶的工艺参数进行了优化.根据基片曲率法的原理,通过三因素三水平的正交实验,测量了9组不同工艺条件下SU-8胶层内应力的大小.引入模糊神经网络,对影响SU...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 用溶胶.凝胶工艺在掺锡氧化铟导电氧化物基底上制备了锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜.采用快速热处理工艺改进铁电薄膜的晶格取向,用X射线衍射仪分析了薄膜的结晶取向,分别基于Al/PZT/ITO,IT...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 研究了一种利用商品化的氧化铟锡(ITO)玻璃制作一次性电致化学发光微流控芯片的方法.采用光刻和湿法腐蚀ITO(氧化铟锡)层制作微电极;利用同样的方法,在另一片Cr板玻璃上湿法腐蚀微沟道.在玻...
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25. MEMS芯片正面结构释放时的保护刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 提出了一种MEMS后处理中正面结构释放的正面保护方法.尤其是针对在CMOS-MEMS工艺制造单片集成传感器时,MEMS后处理工艺中正面体硅湿法腐蚀时对已制作完成的CMOS电路部分的表面铝引线...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 通过微注射成形制得了直径分别为130μm和110μm,高度均为250μm的微圆柱阵列(10×10).不恰当的工艺参数下微圆柱会出现填充不足、表面粗糙、烧蚀和中空等缺陷.实验发现,对于带有微型...
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27. 光栅光调制器阵列翘曲问题分析刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 提出了一种新颖的面向大屏幕高清晰度显示的光栅光调制器(GLM)阵列.它利用光衍射原理对入射光进行调制.GLM是在硅片上分层构造的器件,采用以铝膜工艺为主的表面微加工工艺.在研制过程中器件翘曲...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 无电镀是金属化的一种重要手段,具有成本低、保形性好、简单易操作等特点.在以前报道的MEMS结构无电镀金属化过程中,金属和硅结构会全部被金属化,难以形成复杂结构的局部选择性金属化.为此,采用一...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2007年4期页码:摘要： 利用聚焦离子束(focused-ion-beam,FIB)刻蚀在纳米厚的单晶硅悬臂梁表面来制备三维纳米螺旋.单端固支的悬臂梁在FIB刻蚀引入的应力下卷曲,通过控制FIB应力引入的角度和间距,...
纳米技术与精密工程(英文)基本信息
| 刊名 | 纳米技术与精密工程(英文) | 主编 | 胡小唐 |
| 曾用名 | 纳米技术与精密工程 | ||
| 主办单位 | 天津大学 中国微米纳米技术学会 | 主管单位 | 中华人民共和国教育部 |
| 出版周期 | 季刊 | 语种 |
eng
|
| ISSN | 1672-6030 | CN | 12-1458/03 |
| 邮编 | 300072 | 电子邮箱 | namijishu@tju.edu.cn |
| 电话 | 022-27892181 | 网址 | http://nmjsyjmgc.tjujournals.com/ |
| 地址 | 天津市南开区卫津路92号 |
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