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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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  • 1. 纳米线、纳米管的制备、表征及其应用
    作者： 王太宏 韩红梅
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  1-10
    摘要： 在高度集成化浪潮的推动下,现代技术对纳米尺度功能器件的需求将越来越迫切.纳米线、纳米管等一维材料作为纳米器件中必不可少的功能组件,在纳米研究领域中的地位显得愈发重要.本文从一维纳米材料的研究...
  • 2. 共振隧穿二极管
    作者： 宋婉华 张世林 张豫黔 杨中月 梁惠来 毛陆虹 牛萍娟 赵振波 郝景臣 郭维廉 魏碧华
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  11-15，36
    摘要： 设计并研制出室温工作的共振隧穿二极管,室温电流峰谷比达到7.6:1,最高振荡频率为54GHz.本文对RTD的设计、研制过程、参数和特性测试进行了系统的分析和说明.
  • 3. 纳米技术在克隆技术中的应用前景
    作者： 蔡继业 陈勇
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  16-19
    摘要： 纳米科技近年来的迅猛发展带动物理、化学、生物和医学等众多学科进入全新的领域,其前景是可以预见的.本文从生物医学的众多技术之一--克隆技术,展望了纳米技术的应用前景.
  • 4. 在(111)Si衬底上磁控溅射纳米SiC薄膜的退火效应
    作者： 安霞 庄惠照 李怀祥 杨利 薛成山
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  20-24
    摘要： 用射频磁控溅射法在常温硅衬底上制备出了纳米碳化硅薄膜,并研究了退火温度对薄膜的影响.用傅里叶红外透射谱(FTIR)、x射线衍射(XRD)、x光电子能谱(XPS)及原子力显微镜(AFM)对薄膜...
  • 5. 纳米多孔铝的制备技术及应用
    作者： 党建印 黄瑞青 黄靖云
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  25-27
    摘要： 介绍了阳极氧化方法制备纳米多孔铝的技术.阳极氧化多孔铝由于孔径可以控制在纳米尺度,因而在半导体纳米线料的制备方面具有广泛的用途.
  • 6. RF MEMS开关
    作者： 乔大勇 苑伟政
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  28-30
    摘要： 由于能耗低、隔离度好、工作频带宽,MEMS开关在RF领域得到了广泛的应用.本文着重介绍了RF MEMS开关的基本参数、分类以及典型制造工艺和设计时考虑因素等一些基本的概念.
  • 7. Nb5+/Ti4+离子对O3气敏元件的性能改善
    作者： 唐世洪 张勇华 曾庆立 梁平原 谭子尤 邓永和
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  31-33
    摘要： 在W03中掺入Nb5+、Ti4+杂质离子,制成傍热式厚膜元件,结合开溢脱附(TPD)和半导体分析,研究了掺杂离子对元件性能的影响.
  • 8. 质子LIGA工艺的探讨
    作者： 伊福廷 张菊芳 彭良强 徐韬光 韩勇
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  34-36
    摘要： 提出采用掩模法的质子LIGA方法,即利用厚胶光刻产生掩模,然后进行质子束深度刻蚀、显影获得微结构.根据TRIM96程序进行模拟计算,该方法可以获得深度达数毫米、深宽比为30以上的微结构.利用...
  • 9. 用于T形栅光刻的新型移相掩模技术
    作者： 崔铮 张倩 樊照田 王维军 王育中 田振文 陈宝钦 韩安云
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  37-40
    摘要： 根据移相掩模基本原理,通过光刻工艺模拟提出了一种适于T形栅光刻的新型移相掩模技术--M-PEL.初步实验证明,M-pEL技术可在单层厚胶上经一次光刻形成理想的T形栅抗蚀剂形貌.
  • 10. CCD生物芯片检测仪设计
    作者： 刘业异 唐小萍 王淑蓉 胡松
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  41-44
    摘要： 生物芯片(基因芯片和蛋白芯片)是提取生物分子信息的一种新技术,主要用于检测多种基因或蛋白的表达水平,正在成为新世纪最主要的分子诊断手段.本文介绍了一种CCD生物芯片检测仪的原理、结构组成,并...
  • 11. 全国部分微米纳米相关会议消息
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2002年5期
    页码:  46-47
    摘要：

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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