RF MEMS开关

• 作者: 乔大勇 苑伟政
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机械开关 工艺 设计因素
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TN303
• 字数: 1491字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2002.05.006

摘要

由于能耗低、隔离度好、工作频带宽,MEMS开关在RF领域得到了广泛的应用.本文着重介绍了RF MEMS开关的基本参数、分类以及典型制造工艺和设计时考虑因素等一些基本的概念.