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微纳电子技术2006年第2期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 简述了光子晶体在有源器件中应用的物理基础,介绍了几种类型的光子晶体有源器件,包括光子晶体激光器、发光二极管和光电探测器.并探索了光子晶体有源器件的潜在应用前景.
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2. 硅基单电子晶体管的制备刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 硅基单电子晶体管是一种极具潜力的新型量子器件.大多数硅基单电子晶体管的制备方法可以很好地与主流的CMOS工艺兼容.介绍了硅基单电子晶体管一些典型的具体制备工艺和方法以及该领域近年来的研究热点...
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3. 光子晶体微腔发光二极管刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 光子晶体微腔因其具有增强自发辐射、定向输出和单模工作的能力而受到广泛关注.介绍了光子晶体微腔发光二极管的基本原理、设计、特性、制作及其典型器件.
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 利用LB技术在Si(100)基片上制作了金纳米粒子单层膜,采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对单层膜的表面形貌进行表征.实验结果表明,将表面压控制在22 mN/m～26 m...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 采用基于Brenner REAO(reactive empirical bond order)势的分子动力学方法,模拟了"Y"型、竹节型与直纳米碳管的拉伸过程.结合有限元分析,对比并讨论了"...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 从计及边缘效应的二维平行板电容计算公式出发,应用虚位移原理给出相应的静电力计算公式,在此基础上导出了矩形、圆形平行板静电力计算式.通过与有限元计算结果对比,得到了不同计算公式的精度,其中应用...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析.在静态和模态分析中,得到水平方向最大静位移和谐振频率等重要性能参数以及不同的折叠悬臂梁结构参数对它们的影响.在谐...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 介绍了nm级电子束曝光机激光定位精密工件台系统的结构组成、各部分技术措施及总体性能指标.该工件台采用HP5527激光干涉测量系统,测量分辨率达0.6nm,结构上成功将导向与承载分离,对承片台...
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9. 铝薄膜CMP影响因素分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要： 提出了在碱性抛光液中铝薄膜化学机械抛光的机理模型,对抛光液的pH值、磨料、氧化剂浓度对过程参数的影响做了一些试验分析.试验结果表面粗糙度的铝薄膜所需的最优化CMP过程参数:硅溶胶粒径为15～...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2006年2期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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