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微纳电子技术期刊
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名： 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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  • 151. 声表面波谐振器传播状态的ANSYS仿真
    作者： 刘婷婷 白竹川 陈营端 高杨
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2009年12期
    页码:  739-743,749
    摘要： 为描述声表面波的传播状态,利用ANSYS软件对声表面波(SAW)谐振器进行了仿真.在对声表面波产生机理和SAW谐振器工作原理分析的基础上,建立了SAW谐振器仿真模型,讨论了网格划分不同对仿真...
  • 152. 一种聚合物实心微针的制作方法
    作者： 李以贵 汪鹏 肖丽君 陈翔 陈迪
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2009年12期
    页码:  744-749
    摘要： 为实现制作微针加工工艺简单、加工周期短及成本低的目的,提出了一种制作聚合物微针的新方法,这种聚合物微针的制作过程主要包括三个部分:微针原始模具的制作、聚合物微针模具的制作和浇铸工艺复制微针....
  • 153. 基于高深宽比Si干法刻蚀参数优化
    作者： 李以贵 陈少军
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2009年12期
    页码:  750-754
    摘要： 为满足体硅MEMS制造工艺进一步发展的需要,对电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺参数进行了深入分析,着重分析了平板功率对Si干法刻蚀的影响.通过对Si于法刻蚀的主要工艺参数进行正交试验,得出...
  • 154. 多层高深宽比Si深台阶刻蚀方法
    作者： 刘鹏 张大成 李婷 李静 田大宇 罗葵
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2009年12期
    页码:  755-757,763
    摘要： 通过干法刻蚀,在Si衬底上制备出高深宽比的台阶结构是MEMS加工的基础工艺之一.多层台阶的刻蚀,是一种重要的折线断面制备方法,使实现结构更加复杂的器件成为可能.利用LPCVD生长1μm厚Si...
  • 155. 硅MEMS器件键合强度在线检测方法
    作者： 吴嘉丽 施志贵 李仁锋 袁明权 郑英彬 马凯
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2009年12期
    页码:  758-763
    摘要： 键合强度是MEMS器件研制中一个重要的工艺质量参数,键合强度检测对器件的可靠性具有十分重要的作用.为了获得MEMS器件制造工艺中的键合强度,提出了一种键合强度在线检测方法,并基于MEMS又指...
  • 156. 梳齿式MEMS加速度计在冲击下的失效分析
    作者： 庄志强 徐爱斌 林宙峰 蔡伟
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2009年12期
    页码:  764-768
    摘要： 对Si基梳齿式MEMS加速度计在冲击下进行了失效分析,验证了其主要失效模式,分析了其失效机理.通过机械冲击实验并采用扫描电镜(SEM)、X射线透视系统、扫描声学显微镜(SAM)观察及电性能测...
  • 157. 国际视点
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2009年12期
    页码:  768-772
    摘要：
  • 158. 亚洲MEMS展览会日本传感器综合展
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2009年12期
    页码:  后插4
    摘要：
  • 159. 树立新目标攀登新高峰——新年致辞暨贺本刊进入中文核心期刊行列
    作者：
    刊名： 微纳电子技术
    发表期刊： 2009年1期
    页码:  插1
    摘要：

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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