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微纳电子技术2011年第4期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 以采用溶胶凝胶结合氢气还原法制备出的铁镍合金纳米颗粒为催化剂,原位裂解苯,成功合成铁镍合金与纳米碳管的复合物.场发射扫描电镜和高分辨透射电镜结果显示复合物为一维纳米管状结构.微波电磁参数测量...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 介绍了一种基于GaN/AlGaN高电子迁移率晶体管(HEMT)的高速、高灵敏度室温太赫兹探测器.在太赫兹波辐射下,HEMT源漏端产生直流光电流,并能被栅压灵敏地调控.探测器中新颖的蝶形天线设...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 为了提高GaAs微型太阳电池的输出性能,对微型太阳电池阵列的主要工艺进行了研究和改进.通过对帽层、背电极层和台面的选择性/非选择性湿法腐蚀工艺的探索,实现了对最佳腐蚀液的配比、腐蚀时间和温度...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 基于Sentaurus Workbench(SWB)TCAD可制造性设计平台进行AlGaN/GaN器件的结构设计和仿真,并对影响二维电子气的重要参数因素进行了研究及优化,诸如AlGaN势垒层...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 设计并实现了一款Ku波段宽带单片中功率放大器,依据电路原理设计了功率放大器电路,利用ADS软件对设计的电路和版图分别进行了电学参数优化与电磁仿真.放大器采用0.25 μm栅长的GaAs PH...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 等离子增强化学气相淀积(PECVD)法制备的氮化硅薄膜具有沉积温度低、生长速率高和残余应力可调节等特点,研究其力学特性对研制MEMS器件和系统具有重要意义.采用HQ-2型PECVD淀积台,在...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 运用热蒸发技术在Si(111)和Si(100)基片上制备了ZnO纳米棒.SEM表征显示,ZnO纳米棒的直径约100 nm,长度均匀,大约3 μm;XRD表征发现ZnO纳米棒沿[0001]晶向...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 设计并制造了一种基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜,此变形镜采用了三个多晶硅结构层和一个金属反射层的设计.利用表面硅工艺完成了变形镜的加工,结合有限元分析软件和白光干涉仪对三种不同驱动器电...
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9. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 通过对径向振动圆盘的机械振动方程进行分析,将机械振动的分散参数集总化,提取出机械集总参量并通过机电类比的方法将集总化的机械参量类比成电参量,建立起径向振动微机械谐振器的电参数模型.利用ANS...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 研究使用了中国科学院电子学研究所自行研制的高灵敏度单通道SPR分析仪和进样装置,仪器为棱镜耦合型SPR传感器结构,其检测角度范围是40°～70°,折射率检测范围为1.04～1.47,谐振角的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 报道了一款用于X波段的悬臂梁接触式RF MEMS串联开关的微加工工艺设计.首先,介绍了该悬臂梁接触式MEMS串联开关的基本工作原理;然后,简单描述了其结构组成和尺寸参数;最后,对掩膜版和对位...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 分析了阵列悬臂探针并行扫描的工作方式,以非接触磁力模拟样品与悬臂梁间的范德华力,研究了1×2阵列压电悬臂梁的并行扫描和驱动控制方法.每一压电梁均集成了微位移致动器和力传感器,在320 Hz一...
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14. 离子注入水平扫描均匀性控制算法刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2011年4期页码:摘要： 为提高离子注入工艺中水平扫描输入剂量的均匀性,研究了离子束水平扫描速度对各处注入剂量的影响规律,建立了水平方向注入剂量分布曲线的数学模型.通过简化离子束斑轮廓,提出了一种实用的离子注入水平扫...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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