基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜

• 作者: 倪祖高 姚军 汪为民 陈科帆 高福华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 变形镜 自适应光学 吸合效应 静电排斥力 冲程
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 242-247
• 分类号: TH703
• 字数: 1972字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2011.04.008

摘要

设计并制造了一种基于静电排斥力的大冲程MEMS变形镜,此变形镜采用了三个多晶硅结构层和一个金属反射层的设计.利用表面硅工艺完成了变形镜的加工,结合有限元分析软件和白光干涉仪对三种不同驱动器电极空间分布方式的静电排斥型变形镜进行了分析和研究.测试结果表明,静电排斥型变形镜在200V下能实现1.7 μm以上的位移,冲程较传统静电吸引型变形镜有显著提高.在相同电压下,第三层多晶硅作为边缘电极时的变形镜获得的位移最大,在210 V下达到2.42 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高福华	四川大学物理学院	56	392	11.0	16.0
2	姚军	中国科学院光电技术研究所微细加工与光学技术国家重点实验室	32	355	11.0	18.0
3	汪为民	中国科学院光电技术研究所微细加工与光学技术国家重点实验室	16	32	3.0	4.0
4	陈科帆	中国科学院光电技术研究所微细加工与光学技术国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
5	倪祖高	中国科学院光电技术研究所微细加工与光学技术国家重点实验室	3	17	2.0	3.0