论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 无线电电子学与电信技术期刊 \
- 微纳电子技术期刊 >
微纳电子技术2013年第3期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
分享
投稿
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
分享
文章浏览
目录
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 采用电子束曝光、感应耦合等离子体刻蚀和热氧化等工艺技术,通过独特的图形反转设计,即在电子束曝光时采用负的曝光图形,并以电子束曝光的光刻胶作为掩膜进行干法刻蚀,通过后续的干法热氧化等工艺,在磷...
-
2. 多晶硅薄膜太阳电池刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 多晶硅薄膜太阳电池因兼具低材料消耗、低成本、高稳定性及多晶硅薄膜微电子器件的成熟工艺而备受瞩目.对多晶硅薄膜太阳电池的结构和制备工艺流程进行了详细阐述,指出当前多晶硅薄膜太阳电池的关键研究方...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 对用于第三代DNA测序技术的固态纳米孔的研究进展进行了综述分析,指出了采用传统微加工技术进行固态纳米孔批量制作的重要性.在介绍了基于纳米孔的第三代DNA测序技术以后,分别对固态纳米孔制备和缩...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 为探索稀土材料Eu2Fe14B在磁性隧道结中的应用,利用密度泛函理论和非平衡态格林函数方法研究了Eu2Fe14B/MgO/Eu2Fe14B磁性隧道结.计算了双铁磁电极平行和反平行磁化配置下,...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 微型电磁振动能量采集器(振动能量发生器)是振动能量采集器的一个重要分支,其利用电磁感应原理吸收环境的振动能量.综述了近几年微型电磁振动能量采集器的相关研究、制作工艺和检测技术,按运动件的支撑...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 针对电容式MEMS微加速度计出现的输出值漂移问题,研究了后退火处理对封装好的电容式微加速度计的影响,选取的退火温度为110℃,退火时间为192 h.对退火后微加速度计的上电时刻零位值和上电1...
-
7. 微惯性开关L型闭锁梁分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 分析了目前微惯性开关中3种闭锁机构的基本工作原理.利用力学能量方法对L型闭锁机构的闭锁梁在主电极惯性力作用下的打开状态与闭锁状态的位移比,以及闭锁梁的动态位移进行了理论推导,进一步完善了此类...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 等离子体深刻蚀技术是MEMS制备的关键,利用该技术进行刻蚀时,会出现lag效应和反常lag效应,严重影响器件的性能.为了消除lag效应,建立刻蚀和钝化模型分析lag的产生,并利用ARDE表征...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 化学机械抛光中晶圆表面材料去除的非均匀性是影响抛光质量的主要因素之一.材料去除非均匀性直接影响上层布线的质量.通过对抛光垫与晶圆表面不同接触状态下的摩擦学分析,得到抛光垫与晶圆不同接触状态下...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 采用射频磁控溅射法在石英衬底和Si衬底上分别生长了Er2O3,Tm2O3和Yb2O3三种稀土氧化物薄膜.分别利用光学方法和X射线光电子能谱测量法对以上三种稀土氧化物的禁带宽度进行了测量,并将...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 以钇稳定氧化锆(YSZ)为固体电解质,Pt作为电极材料,在不同温度下共烧制备了泵氧电极层原型.借助计时电流法和电化学阻抗谱(EIS)法,并结合SEM分析研究了共烧温度对泵氧电极性能的影响.结...
-
12. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
微纳电子技术统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
安徽电子信息职业技术学院学报
半导体光电
半导体光子学与技术(英文版)
半导体技术
半导体学报(英文版)
北京电子
电信建设
北京通信之窗
吉林大学学报(信息科学版)
重庆邮电大学学报(自然科学版)
湖南邮电职业技术学院学报
磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
电讯技术
电子学报
电子学报(英文)
电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
电信工程技术与标准化
电信交换
