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微纳电子技术2014年第7期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶电泳法,以在氧化铟锡(ITO)导电玻璃基底上的多孔阳极Al2O3膜为模板,通过改变TiO2前驱体溶胶的陈化时间,制得TiO2纳米棒与纳米管阵列.通过扫描电镜、X射线衍射仪和电沉...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 通过激光分子束外延(LMBE)和热蒸发技术制备了基于ZnS纳米薄膜的Al/ZnS/ITO/玻璃器件,通过原子力显微镜(AFM)对ZnS表面薄膜形貌进行表征,采用Keithley 2400测量...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 根据磁性液体特殊的结构组成及磁场中所呈现的奇异特性,利用自行搭建的场致热效应实验装置,通过控制电流换向器,磁场迅速左右换向,致使磁性液体中磁性颗粒磁矩的取向迅速改变,并通过调节直流电源输入电...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 稳定性是Mg3N2粉末的一个重要特性.研究了利用镁粉与氨气直接反应法在最佳条件下制备的Mg3N2粉末的稳定性,包括热稳定性、在氧气中的抗氧化性以及在空气中的稳定性.用X射线衍射(XRD)和傅...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 采用两步生长模式的金属有机化学气相沉积方法在蓝宝石衬底上外延生长AlN薄膜,通过高分辨X射线衍射和原子力显微镜分析方法,研究发现蓝宝石衬底上外延生长的AlN薄膜晶体质量与高温AlN形核层的形...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 介绍了声表面波(SAW)器件的基本构造及工作原理,分析了声表面波进入微流体后所产生的复杂的流-固耦合效应.根据液滴随着声表面波功率的增大所出现的不同响应,将声表面波技术在微流控研究领域中的应...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 基于微流控芯片的微型气相色谱柱可实现对微量恶臭气体的快速有效检测.给出了微流控芯片上微型气相色谱柱的检测机理和实验数据.该芯片利用喷砂加工技术在尺寸为115 mm×60 mm×6 mm硼硅酸...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测.首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 石墨烯器件的规模制备是石墨烯材料从实验室研究走向市场应用的关键技术.基于大面积化学气相淀积(CVD)石墨烯,结合微加工技术,对石墨烯圆片级制备工艺进行了初步研究.优化了光学光刻和反应离子刻蚀...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 化学机械抛光(CMP)过程中苯并三氮唑(BTA)与金属铜反应生成表面难溶、难以去除的Cu-BTA钝化膜,是抛光后清洗过程中主要去除的对象.采用自主研发的FA/OⅡ型碱性螯合剂作为清洗液的主要...
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11. 新型碱性清洗剂对BTA去除的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 为了有效去除化学机械抛光(CMP)后清洗中的苯并三氮唑(BTA)沾污,分析了碱性清洗剂中FA/OⅡ型螯合剂和FA/O工型表面活性剂对BTA去除的影响规律.铜光片上的单因素实验中,通过测试铜光...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要： 提出了一种基于投影式光刻机和电子束光刻机混合曝光技术的新型亚微米图形制作方法,该方法可用于制作对精度要求比较高的亚微米图形.具体的做法是将亚微米图形分解成高精度图层和普通精度图层,并将两个图...
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13. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2014年7期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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