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微纳电子技术2015年第11期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 简要介绍了场致发射的原理及其相比于热电子发射的优势,阐述了碳纳米管场发射的性能和基于碳纳米管(CNT)场发射X射线管电子源的典型结构,重点讨论了三极式与二极式碳纳米管冷阴极X射线管电子源的最...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： TiO2纳米线因其一维形态所致的快速电子传导及光散射而成为制备染料敏化太阳电池(DSSC)的一种具有良好潜能的材料.纳米线的长度及分散性是影响DSSC效率的主要因素.制备出了TiO2分散长纳...
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3. 石墨烯掺杂研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 石墨烯被认为是在后摩尔时代可能取代硅成为构筑集成电路的主要材料,近年来成为研究热点.然而要使石墨烯在电路中得到实际应用,其稳定、可控的掺杂至关重要.按照不同掺杂机理梳理了近年来关于掺杂石墨烯...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 采用水热法制备了ZnO纳米线,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对其物相及微观形貌进行了表征和分析.测试结果表明,ZnO纳米线的平均直径和长度分别...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 荧光检测生物芯片在生命科学研究及诸多相关领域已经得到了广泛应用.利用荧光修饰核酸探针可以在液相态中检测到c-fos mRNA致癌基因信息或病毒性核糖核酸(RNA).通过微细加工技术分别制造了...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 利用溶胶-凝胶工艺实现均匀致密压电(PZT)膜与Pt/Ti/SiO2/Si/SiO2晶片良好异质集成制造,结合湿法腐蚀、干法刻蚀、磁控溅射、光刻和剥离等MEMS加工工艺制造了一种"单中心质量...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 提出了一种利用聚焦激光通过单模光纤对酵母细胞驱动的实验方法.基于光压产生光镊的原理,在微通道宽度为100 μm的微流控芯片中,波长为650 nm、功率为200mW的红色半导体激光通过单模光纤...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 为了能实现跨尺度纳米定位操作,研制了一个基于粘滑驱动机理的纳米定位平台.采用柔性铰链的驱动机构,在对其在垂直方向上和驱动方向上的刚度进行分析的基础上,进行尺寸优化,从而减少定位平台在垂直方向...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 针对碳化硅(SiC)材料在微电子制造和封装过程中广泛的应用前景,对碳化硅与碳化硅进行了直接键合实验.通过拉伸实验进行了样品键合强度的测试以及借助扫描电子显微镜(SEM)和能谱仪(EDS)等对...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 阐述了碱性抛光液中磨料的质量传递作用对多层Cu布线化学机械抛光(CMP)过程中抛光速率和抛光后晶圆表面状态的影响,通过对比不同磨料粒径抛光液在3英寸(1英寸=2.54 cm)铜晶圆上的抛光实...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 为实现TSV硅衬底表面铜去除速率的优化,对影响TSV铜去除速率的最主要因素抛光液组分(如磨料、螯合剂、活性剂和氧化剂)中的氧化剂进行分析.通过对不同体积分数的氧化剂电化学实验进行钝化机理的研...
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12. Ni纳米线的化学还原法可控制备刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2015年11期页码:摘要： 利用化学还原法制备了Ni纳米线,通过扫描电子显微镜(SEM)研究了制备参数(磁场强度、Ni2+离子浓度和反应温度)对Ni纳米线合成以及结构的影响.实验结果表明:磁场强度是影响Ni纳米线直径均...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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