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微纳电子技术2018年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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31. 无线无源气体传感器的制备和测试刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 介绍了氨气传感器的制备和测试,利用原位聚合法将聚苯胺以多壁碳纳米管为核心进行聚合反应制备出介电纳米复合材料,将制备的介电纳米复合材料喷涂到传感器上作为气体传感器的敏感层,从而制备了复合材料的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 提出一种基于表面增强喇曼散射(SERS)效应的高灵敏、快捷、便携式的微量食品添加剂检测方法.采用光纤球结构,设计研发了一种光纤球结构表面包覆银纳米颗粒的高灵敏便携式SERS信号检测探针,并利...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 分别选用FA/O螯合剂和甘氨酸作为络合剂配置铜布线CMP抛光液,研究对比了两种抛光液的抛光速率、静态腐蚀溶解速率、平坦化以及稳定性.速率实验表明,抛光液中加入FA/O螯合剂和甘氨酸都可以显著...
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34. 纳米增材制造刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 增材制造技术(3D打印技术)是一种与减材制造相反的、根据三维数据把材料集中一体的加工过程.根据成型特点,常见的有几种不同的增材制造工艺,如光固化成型、材料挤出、粉末床熔合、片层压、定向能量沉...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年3期页码:摘要： 针对传统的低温硅-硅键合技术中,由于等离子体轰击硅片表面而导致硅面损伤、键合面积小、键合强度低等技术难题,通过研究3种不同的活化方式对粗糙度、键合面积、键合强度的影响,从而得出湿法与氧自由基...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 综述了采用旋涂法制备的量子点发光二极管(QLED)中各功能层材料的研究进展,对可旋涂制备的多种载流子注入层和传输层材料的特性及应用进行了对比总结.多项研究表明:对于电子传输层(ETL),Zn...
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37. Pt/Yb2O3/Pt的阻变性质刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 采用电子束蒸发的方法制备了Yb薄膜,对这些样品在不同条件下进行退火,得到Yb2O3薄膜.用热蒸发法在衬底和薄膜表面分别制备了Pt电极,用原子力显微镜(AFM)观察了薄膜的表面形貌,发现随着退...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 以具有大的表面积及特殊的中空结构的碳纳米管(CNT)作为气敏传感器敏感层材料为基础,介绍了CNT在开发不同类型气敏传感器技术方面的最新进展.综述了CNT及以贵金属、金属氧化物、聚合物改性的C...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 提出了一种新的无线无源高温压力传感器结构,该传感器的结构主要由含有内置空腔的基片集成圆波导(SICW)谐振器和集成于波导上金属面的缝隙天线两部分组成.共面波导天线(CPW)发出的频率电磁信号...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 为了提高高g微机械加速度传感器在极端恶劣环境中应用的可靠性,根据自制的高g微机械加速度传感器芯片,研究设计了一种新型“台阶式”传感器芯片的盖帽封装结构.利用圆片级键合工艺和有限元分析(FEA...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 基于在微通道内设置障碍物可以提高混合效率的方法,以T型方波通道微混合器为基础,设计了一种新型的、具有挡板结构的被动式微混合器,并采用有限元方法建立了仿真模型,分析比较了T型直通道微混合器、T...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 归纳了国内外自供能微电源技术的研究现状,阐述了环境能量采集技术结构设计与能量转换机理.当前能量采集器主要依靠特殊功能材料完成能量转换,耦合方式包括:压电效应、磁致伸缩效应、摩擦发电效应、热释...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 提出了一种基于双拱形结构的压电-摩擦复合纳米发电机的制备方法,利用锆钛酸铅(PZT)颗粒/碳纳米管(CNT)/聚二甲基硅氧烷(PDMS)形成的混合压电薄膜与铝电极作为压电层;利用倒模工艺形成...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 蓝宝石晶片的总厚度差(TTV)和表面粗糙度是影响蓝宝石键合成败的关键因素.研究了减薄抛光工艺对蓝宝石衬底的作用机理,结合实际加工要求选择不同粒径磨料组合和适当的压力条件对蓝宝石晶片进行减薄....
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 运用分形几何学设计了可双轴拉伸的Peano型通用互连结构.运用能量法推导了一阶Peano型通用互连结构对角方向的拉伸与弯曲位移.根据一阶Peano型与二阶Peano型的分形几何关系,推导了二...
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46. InP微透镜的设计与制作刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年4期页码:摘要： 高速光电探测器采用芯片背面带微透镜的背入射结构,利用微透镜对光的汇聚提高芯片与光纤的耦合效率.软件模拟发现,光敏面直径为30 μm的芯片采用背入射结构时,其等效光敏面直径大于50 μm,并且...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 采用CMOS兼容工艺,在绝缘体上硅(SOI)晶圆片上制备了高性能波导集成型锗pin光电探测器.该光电探测器锗区长度为15μm,宽度分别为1,2,3,4和5μm.光波导与探测器间的光耦合为倏逝...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 利用化学还原法制备了Ni纳米线后经过高温氧化得到了Ni/NiO核壳纳米线,最后利用半导体工艺制备出单根Ni/NiO核壳纳米线器件,并对其光电特性进行了测试分析.I-V曲线测试结果表明器件具有...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 对高热导率纳米银胶进行了性能分析,并与Au80Sn20焊料进行了对比;将其应用于一大功率器件,通过对粘结芯片进行剪切力测试,验证了纳米银胶具有可靠的连接强度;调整粘结样品的键合参数,并对键合...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 实现痕量气体分子检测的前提是实现气体的高效富集,针对这个问题给出了微流控芯片上柱状预浓缩器的结构设计与仿真数据.在气相微流体研究的基础上,基于微电子机械系统(MEMS)加工技术,设计了圆形、...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 设计了一款含有一个非谐振节点的W波段矩形波导带通滤波器,实现了其传输函数中传输零点可任意放置的功能.滤波器包括一个T型结波导结构、两个TE101模谐振腔和四对电感膜片.其中T型结波导结构中连...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 无源压力传感器在一些极端环境下有着广阔的应用前景.提出了一种新型无源LC薄膜高温压力传感器,在传统的平面螺旋电感基础上加入了多组叉指电容.传感器的基底材料采用的是高温共烧陶瓷(HTCC),通...
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53. 微惯性测量单元橡胶减振器结构设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 为减小外部环境的振动和冲击对微惯性测量单元(MIMU)的输出的影响,基于减振器六种隔振模式理论和单自由度系统无阻尼自由振动原理,选择合适的隔振模式并分析了MIMU橡胶减振器谐振频率的影响因素...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 利用绝缘体上硅(SOI)技术研制了一种可以用于飞行高度测量、气象环境监测和医疗等领域的高精度微电子机械系统(MEMS)电容式压力传感器.利用有限元分析软件对传感器敏感结构进行了结构建模、静力...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 基于微电子机械系统(MEMS)技术的环形、矩形以及I2形谐振器由于具有较高的谐振频率与品质因数等优点,可作为原子力显微镜(AFM)探针用于物理表面高速成像实验.在结构尺寸近似的情况下,对影响...
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56. 高灵敏低噪声光束偏转检测系统设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 为了进一步提高自制超高真空室温非接触式原子力显微镜(NC-AFM)的检测灵敏度和获得材料表面更高分辨率的原子图像,在比较了原子力显微镜探针振动位移检测的三种方法的基础上,重点研究了光束偏转检...
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57. 光MEMS芯片驱动结构自对准技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 针对垂直梳齿静电驱动微光机电系统(MOEMS)芯片制备工艺中,用于静电驱动的固定梳齿和可动梳齿难以精确对准的问题,通过开发一种自对准工艺技术,利用一次光刻和预掩蔽层梳齿定位以及连续两次深反应...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年5期页码:摘要： 利用TracePro软件设计微流控液滴检测光学系统,构建系统组件模型,对不同尺寸和形状的液滴与气泡通过检测窗口所引起的光强信号变化进行仿真,分析光强信号与液滴尺寸和形状之间的关系.同时,搭建...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 概述了太赫兹(THz)InP技术的优势、应用前景及美国的发展规划.重点对国外THz InP高电子迁移率晶体管(HEMT)和异质结双极晶体管(HBT)的技术进展和突破进行了详细阐述,其中国外H...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年6期页码:摘要： 介绍了分布反馈半导体激光器(DFB-LD)的工作原理,分析了不同的光栅阶数及耦合机制对DFB-LD激光输出特性的影响.重点评述了大功率DFB-LD研究发展状况,从结构特性及技术手段等方面详细...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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