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微纳电子技术2018年第12期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 针对Rayleigh波和Love波两种声波不能在同一声波器件中产生的不足,提出了一种Rayleigh波与Love波双模式声波产生器件结构和三维建模方案.该三维建模方案用有限元分析法逼近压电基...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 随着集成电路特征尺寸不断缩小到14 nm及以下,钌凭借其低的电阻率、对铜高的依附性而被考虑替代传统阻挡层材料Ta/TaN.但是,钌作为阻挡层材料依然存在很多问题,如低去除速率、容易引起铜的界...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 单斜晶系氧化镓(β-Ga2O3)超宽带半导体材料具有优良的电学、光学特性以及较高的物理化学稳定性,在大功率器件、紫外探测器以及气体传感器等技术领域具有巨大的应用前景,近年来已成为国际研发的热...
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4. 标矢量一体化水听器的设计刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： MEMS仿生矢量水听器具有体积小、刚性安装和单支定位等优点,但是在单支水听器定位时,常存在双边指向性造成左右舷模糊的问题.为了解决单支矢量水听器定位的问题,设计了一种通过集成一个标量通道实现...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 金刚石中的氮空位中心(NV色心)具有独特的自旋特性,且其电子自旋受周围环境如温度的影响,从而可以通过探测NV色心的电子自旋态实现对温度的精密测量.在精密测量中,NV色心的哈密顿量起重要作用,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 环境温度等外界因素引起的互易性噪声极易改变谐振式光学陀螺中光波导谐振腔特性,对陀螺系统测试产生极大影响.利用高精度的激光频率锁定技术对陀螺系统中的互异性噪声进行有效抑制,提高了陀螺性能.根据...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 为了解决MEMS陀螺仪开环检测带宽窄、量程低、线性度差等问题,设计了机电结合带通∑△闭环检测系统.首先设计4阶带通纯电学∑△调制器,结合MEMS陀螺的机械结构,提出机电结合闭环检测系统结构及...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 为探究同轴式组合微喷嘴的喷射方向性以及制备虾卵细胞微胶囊时的封存效率,搭建了以电磁铁为驱动器的微流体数字化脉冲驱动控制喷射平台,并通过COMSOL Multiphysics 5.3建立二维仿...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 主要研究了基于原子力显微镜(AFM)的场蒸发沉积加工方法,分析了影响沉积加工的因素.通过选择适当的针尖和样品间的距离、加工电压和探针运动速度等参数,实现了纳米点、纳米线及纳米字符等纳米结构的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 创新性地提出一种经济高效的碳化硅表面亚微米减反射结构制作工艺,即“黑碳化硅技术”.该方法无需光刻,采用非完全后烘的光刻胶微掩膜反应离子刻蚀(RIE)工艺,克服了碳化硅材料由于高硬度和高化学稳...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 开尔文探针力显微镜(KPFM)是一种可以对材料表面电势进行纳米级成像的工具,是研究纳米材料表面特性的一种重要手段.高定向热解石墨(HOPG)具有表面光滑、导电性好的特点,在原子力显微镜(AF...
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12. 热电制冷技术的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要： 热电制冷(TEC)已成为制冷领域的一个重要发展方向,但是由于其转换效率过低且材料成本较高,目前难以得到广泛应用.对热电制冷技术进行了简要介绍,并综述了热电制冷技术的研究进展,包括热电材料、结...
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13. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2018年12期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
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