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微细加工技术2008年第2期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
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总被引数（次）
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微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 为了解决传统扫描探针显微镜(SPM)控制器中参数难以设定的难题,提出了一种SPM的PI参数自整定控制器的设计,并给出了控制器的硬件结构和软件设计.该控制器基于DSP,通过引入扫描式参数优化算...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 为使亚微米电子束曝光机的高速偏放系统寻址率达到6 MHz,噪声小于200μV的技术指标,从偏转放大器的设计、信号传输、D/A转换和系统的屏蔽、隔离等几方面考虑,对噪声的产生进行分析研究,采取...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 为了对霍尔传感器特性曲线进行有效的拟合,分析了三次样条函数在霍尔传感器特性曲线拟合中的理论,应用软件Matlab 6.5结合实验数据对UGM3501U型传感器的UH-B曲线进行了拟合,给出了...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 以硝酸铁.聚乙烯醇为反应体系,采用低温燃烧合成法制备了α-Fe2O3粉体.通过X射线衍射、扫描电镜、透射电镜和能谱分析等测试手段,对产物进行了表征.结果表明,硝酸铁和聚乙烯醇的摩尔比为1∶0...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 利用磁控溅射技术先在硅村底上制备Ga2O3/Co薄膜,然后在管式炉中通入流动的氨气在950℃对薄膜进行氨化,反应后成功制备出大量GaN纳米线.采用X射线衍射(xRD)、傅里叶红外吸收光谱(F...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 为了提高镍基二次电池正极材料的电化学性能,采用微乳液快速冷冻沉淀法制备出稀土Ce掺杂纳米级非晶态氢氧化镍粉体材料.采用Raman,XRD,SEM和TEM对其结构形态进行了表征分析,采用交流阻...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 发展了一种与CMOS工艺完全兼容并可在商业化的1.2μm标准CMOS生产流水线上进行流片的硅基热电堆真空传感器的制造技术与流程.传感器为悬浮的多层复合薄膜结构,其上制作了n型多晶硅加热器和2...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 计算机硬盘微晶玻璃基板的微观结构性能与化学成分都不连续,显微硬度非常高(900 kg/mm2～1 000 kg/mm2),难以获得亚纳米级光滑表面.讨论了微晶玻璃基板结构性能、抛光机理、抛光...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 设计了一种压电式微位移机构,采用对称杠杆式柔性铰链放大机构对压电陶瓷输出位移进行放大,弥补了压电陶瓷位移行程过小的缺点.对微位移机构力学模型和压电陶瓷驱动器的动态特性进行了分析,指出压电陶瓷...
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10. 固相悬浮研磨法制备纯氧化锆超细粉刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 为制备分散性良好的纯氧化锆超细粉,以廉价的无机盐氧氯化锆和草酸为反应原料,新型的乳液体系为液体悬浮研磨介质,开创了固相悬浮研磨法.应用X-射线衍射(XRD)、拉曼光谱和透射电子显微镜对产品进...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 以单晶硅(110)和C+注入硅片后形成的表面改性层为研究对象,对C+注入单晶硅后的离子分布深度概率进行模拟计算,选择不同直径尺度的SiO2球与其配副,在UMT-Ⅱ微摩擦磨损试验机上开展微载荷...
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13. 莫尔条纹噪声控制及细分精度分析刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 为保证莫尔条纹电子学细分的精度和倍数,高质量信号的获得是前提条件,因此莫尔条纹的正交性、电平漂移、谐波失真及噪声污染等指标需要得到严格控制.针对噪声控制,提出了一种基于变步长神经网络的自适应...
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14. 氧化锌薄膜体声波谐振器的研制刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 介绍了一种薄膜体声波谐振器和它的制备流程.该谐振器采用氧化锌压电薄膜作为压电材料,通过从硅片背部体刻蚀硅衬底的方法得到谐振器的支持层.为了避免残余应力引起的支持层起皱现象,采用氮化硅/二氧化...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2008年2期页码:摘要： 结合电泳沉积碳纳米管和电镀金属镍的方法,在导电基片上成功制备了镍/碳纳米管复合薄膜.观察了薄膜的形貌和成份,测试了所制备的镍/碳纳米管复合薄膜的表面电阻和场发射特性,并与传统的电泳方法制备的...
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
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| 地址 | 湖南省长沙市 |
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