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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. MBE梯度掺杂GaAs光电阴极激活实验研究
    作者： 常本康 杜晓晴 邹继军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  401-404
    摘要： 本文首次利用分子束外延(MBE)生长了多种由体内到表面掺杂浓度由高到低的梯度掺杂反射式GaAs光电阴极材料,并进行了激活实验,结果表明,表面低掺杂浓度适中,外延层厚度2 μm～3 μm以及衬...
  • 2. SMPDP等效电路模型的建立
    作者： 夏军 张雄 汤勇明 沈建于 王保平 童林夙
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  405-409
    摘要： 等效电路模型研究方法是继流体力学模型研究方法之后,又一研究等离子体显示屏工作特性的重要手段,建立准确而简练的等效电路模型是实现此研究方法的前提和根本.本文研究了荫罩式等离子体显示屏(SMPD...
  • 3. 一种可擦写可读出的有机电双稳器件
    作者： 华中一 吕银祥 徐伟 蓝碧健 蔡永挚 邹振光 郭鹏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  410-412
    摘要： 本文报道一种可连续可逆转换的有机电双稳薄膜器件,Al/TPR-1/Al/TPR-1/Al,其中TPR-1为有机分子材料,利用真空蒸发-紫外原位聚合的方法制作成膜.在器件中,两层交联的有机物中...
  • 4. β-BBO基ZrO2/SiO2倍频增透膜的结构和成分对光学性能的影响
    作者： 周瑞 方应翠 李万福 王君 陈长琦 鲁嘉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  413-417,430
    摘要： 利用Macload软件对四层ZrO2/SiO2膜系进行优化设计,以β-偏硼酸钡晶体(β-BaB2O4)为基底,采用电子束蒸发方法、离子束辅助沉积技术和真空退火处理,制备出ZrO2/SiO2非...
  • 5. 镍纳米粉的阳极弧等离子体制备与粒度研究
    作者： 冯旺军 夏天东 戴剑锋 王青 闫鹏勋 魏智强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  418-421,443
    摘要： 采用阳极弧放电等离子体方法成功制备了高纯镍纳米粉体并对其粒度进行表征.采用X射线衍射(XRD)测试样品的物相和结构,并用Scherrer公式计算晶粒粒度;采用透射电子显微镜(TEM)分析样品...
  • 6. 用于超高密度存储的硅基纳机电探针阵列器件研制
    作者： 于映 李昕欣 杨尊先
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  422-426
    摘要： 本文研制一种用于超高密度数据存储的硅基纳机电探针阵列器件.简要介绍了器件结构及其工作原理,并通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现器件的结构设计.并运用先进的微纳加工工艺技术制造出相应的器...
  • 7. Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜的多重分形研究
    作者： 吕建国 孙兆奇 高清维
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  427-430
    摘要： 用透射电镜(TEM)测定了采用射频磁控共溅射法制备的金属体积分数在6.0%～62.6%之间的Au-MgF2复合纳米颗粒薄膜的形貌,用多重分形谱描述了不同体积分数薄膜中Au颗粒的空间分布均匀性...
  • 8. 利用微分代数方法计算实际电子透镜的高阶像差
    作者： 任岩 唐天同 康永锋 郭小立
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  431-434,453
    摘要： 微分代数是计算机数值分析领域中的一个非常有效的新方法,它以非标准分析理论为基础,可以方便地实现任意高阶微分的运算.利用微分代数扩展数的映射关系,可以非常有效地处理一些困难的非线性动力学问题[...
  • 9. 一种具有自取向极化效应的有机光折变体系
    作者： 孙大林 徐华华 方方 李潞瑛 杨剑 赵有源 邢晓艳 陈国荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  435-438
    摘要： 在用真空热压-饱和蒸汽扩散法制备的PVK-PBA/DR1/TNF有机聚合物体系中,观察到了无外电场作用下的较强的光折变效应.通过对样品的双波耦合、四波混频实验中,改变电场强度、电场方向或不加...
  • 10. 电容耦合的抑制对感应耦合放电等离子体的影响
    作者： 宁兆元 狄小莲 虞一青 辛煜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  439-443
    摘要： 感应耦合等离子体(ICP)是微电子工业刻蚀高精度沟槽结构的首选高密度等离子体源.研究ICP的电特性与等离子体电学参量的变化显得非常重要.本文中,在平板型ICP源的感应线圈和介质窗口之间,使用...
  • 11. p型透明导电氧化物薄膜的研究进展
    作者： 冯庆 刘高斌 廖克俊 李丽 王万录
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  444-448
    摘要： p型透明导电膜是近来发现的一种新型的材料,在透明有源器件、传感器、透明电极和电路等方面具有广泛的潜在应用.近来在这方面的研究取得了一些突出的进展.本文主要综述了关于p型透明导电膜在材料、沉积...
  • 12. 微型溅射离子泵性能测试
    作者： 朱秀珍 梅国强 陈旭 齐京
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  449-453
    摘要： 本文介绍了小抽速微型溅射离子泵的性能测试系统和参考机械行业标准确定的测试方法,探讨了测量结果误差来源.实验测试了微型溅射离子泵的各项性能指标,为进一步研制提供了依据.
  • 13. 铝/改性氟塑料复合薄膜的制备
    作者： 张莹 张颖 程璇 罗学涛 龚朝阳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  454-458
    摘要： 采用射频磁控溅射技术在改性氟塑料表面沉积铝层,制备了金属/氟化高聚物复合薄膜.利用场发射扫描电镜(FESEM)及能量散射谱(EDS)分析仪对沉积的铝层进行了表面形貌的表征和化学组分的分析.初...
  • 14. Langmuir探针在等离子体诊断中的抗干扰方法
    作者： 徐军 李亚磊 邓新绿
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  459-462
    摘要： 本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术--采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器--利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频...
  • 15. 多层难熔金属的刻蚀工艺技术研究
    作者： 刘英坤 林率兵 段雪 王书明 苏丽娟 邓建国 韩东
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  463-466,470
    摘要： 分析了用反应离子刻蚀(RIE)系统刻蚀多层难熔金属的可行性.研究了用下电极表层为阳极氧化铝的RIE完整刻蚀Au/Pt/TiW/Ti四层金属时氧化铝在Ar/SF6和Ar/CF4等离子体中对聚合...
  • 16. 脉冲阴极弧金属等离子体源的调试及其应用
    作者： 孙韬 汤宝寅 王小峰 王浪平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  467-470
    摘要： 对脉冲阴极弧金属等离子体源的工作参数进行了测量,研究了离子流与磁导管偏压以及磁场电流与离子流之间的关系,确定了其最佳工作参数.并应用该脉冲阴极弧金属等离子体源和等离子体浸没离子注入与沉积技术...
  • 17. 干式螺杆真空泵振动监测与故障诊断技术的研究
    作者： 刘春姐 徐成海 钱芳华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  471-474
    摘要： 针对干式螺杆真空泵的运行故障,采用振动监测的方法,利用时域波形和频谱分析技术进行故障诊断.阐述了振动测试点和测量信号类型的选择方法,给出诸如转子不平衡、轴弯曲变形、转子不对中、部件松动、流体...
  • 18. 液态金属离子源发射系统电场的模拟分析
    作者： 顾文琪 马向国
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  475-480
    摘要： 发射系统是液态金属离子源的关键部件之一,它的性能的优劣直接影响到整个离子源的工作稳定性和可靠性.因而对其发射系统进行仿真分析,可以很好地指导液态金属离子源的设计制造.本文采用国际上重视的动态...
  • 19. 信息
    作者：
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2005年6期
    页码:  插3,426,438,462,480,Ⅶ-Ⅷ
    摘要：

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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