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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 151. 硒化温度对CuInSe2薄膜性能的影响
    作者： 丁晓峰 庄大明 张弓 韩东麟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  32-35
    摘要： 采用中频交流磁控溅射方法沉积Cu-In薄膜,并采用固态源硒化方法制备CuInSe2(CIS)薄膜,考察了硒化温度对CIS薄膜性能的影响.采用SEM和EDS观察和分析了它们的表面形貌和成分,采...
  • 152. 强流脉冲电子束表面处理对不锈钢316L耐蚀性能的影响
    作者： 吴平生 姜利民 张向东 李仁峰 王丽春 董闯 郝胜智
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  166-170,165
    摘要： 利用"Nadezhda-2"型强流脉冲电子束装置,以奥氏体不锈钢316L为实验材料,分别通过金相显微镜、X射线衍射、电子探针及电化学腐蚀仪等手段对处理后的样品进行组织分析和性能测试.结果表明...
  • 153. 铁氧体磁芯的磁控溅射金属化工艺的研究
    作者： 任高潮 王德苗 董树荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  87-90
    摘要： 铁氧体贴片电感要求金属化薄膜具有高的抗拉强度和高温焊接性,传统金属化工艺不能满足要求.本文采用磁控溅射技术对铁氧体电感磁芯进行金属化,研究了不同金属膜系以及不同工艺对薄膜抗拉强度和高温焊接性...
  • 154. 微扰和标定技术测量薄膜微波介电常数
    作者： 王德苗 董树荣 金浩
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  20-22
    摘要： 提出了一种测量介质薄膜微波段介电常数的方法.该方法基于金属空腔谐振器微扰理论,用已知介电常数的基片作为标样,标定测量系统的有关参数,然后分别测量空腔、基片插入空腔、镀有介质薄膜的基片插入空腔...
  • 155. n-BN/p-Si薄膜异质结的I-V特性
    作者： 刘钧锴 田凌 邓金祥 陈光华 陈浩
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  61-63
    摘要： 用射频溅射系统制备了BN薄膜,并且用离子注入的方法在BN薄膜中注入S,从而成功制备了n-BN/p-Si薄膜异质结,并研究了异质结的电学性质.注入S的BN薄膜是用13.56 MHz射频溅射系统...
  • 156. 一维纳米结构氧化锌材料的气相沉积制备及生长特性研究
    作者： 刘惟敏 吴锦雷 孙晖 张俊艳 张琦锋 潘光虎 薛增泉
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  14-19
    摘要： ZnO是一种可用于室温或更高温度下的紫外发光材料,纳米结构的ZnO(如单晶薄膜、纳米粒子膜、纳米线和纳米带等)则更是在紫外激光发射领域显示了独到的优势,被认为是有望构造短波长半导体激光器的理...
  • 157. Ar/N2气体比例对ZrN/WN纳米多层膜的结构和性能的影响
    作者： 刘谦祥 张晶晶 李德军 杨瑾 王明霞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  105-109
    摘要： 选择Zr和W的氮化物作为个体层材料,利用FJL560CI2型超高真空射频磁控与离子束联合溅射系统制备ZrN,WN及一系列的ZrN/WN多层薄膜.通过X射线衍射仪,俄歇电子能谱和纳米力学测试系...
  • 158. 电磁屏蔽层设计及其磁控溅射制备的研究
    作者： 任高潮 王德苗 董树荣
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  91-94
    摘要： 通过传输线模型推导出多层无限大平板的屏蔽效能的计算公式,并根据公式设计了双层屏蔽层,通过多靶直流溅射制备了多种金属屏蔽膜.研究结果表明:衰减损耗是各层屏蔽效果线性相加的结果,反射损耗与各层相...
  • 159. 离子束辅助沉积入射角对FexCr1-x合金薄膜微结构及磁性的影响
    作者： 曾飞 潘峰 耿魁伟 谷宇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  64-66
    摘要： 运用离子束辅助沉积技术在不同的离子束入射角(0°,15°,30°,45°,60°,75°)下,制备了的FexCr1-x合金薄膜(x=50,67),并对其微结构和磁性进行了研究.在两组不同成分...
  • 160. CrN/ZrN纳米多层膜的合成及其结构和性能的研究
    作者： 刘谦祥 张晶晶 李德军 杨瑾 王明霞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  101-104
    摘要： 利用非平衡直流磁控双靶溅射在不同的基底转速(4～11r/min)和不同反应气体流量下制备一系列的具有纳米周期的CrN/ZrN多层膜.利用X射线衍射,俄歇电子能谱,X射线光电子能谱表征了薄膜的...
  • 161. 10英寸场助热电子发射显示屏的制作
    作者： 刘红君 华缜 张羿 李德杰 王红光
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  79-82
    摘要： 讨论了金属-绝缘体-半导体-金属结构的场助热电子发射显示(FAHED)器件的制作原理,简述了Mo/Ta2O5/ZnS/Au结构的10英寸FAHED的制作.通过电子束蒸发具有低功函数的上电极材...
  • 162. 氢化非晶硅薄膜光衰退稳定性的影响因素
    作者： Ma Zhanjie 何斌 刘国汉 宋雪梅 张文理 朱秀红 李志中 邓金祥 郜志华 陈光华 马占洁
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  98-100
    摘要： 用热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积制备样品,通过红外吸收谱图和光衰退图,分析影响a-Si:H薄膜光衰退稳定性的因素:一方面,非晶硅网格中氢含量、氢硅键合方式以及氢的运动情况均对非晶硅材料...
  • 163. 离子束辅助中频反应溅射 (Cr,Ti,Al)N薄膜的研究
    作者： 代明江 侯惠君 戴达煌 朱霞高 李洪武 林凯生 林松盛
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2006年z1期
    页码:  162-165
    摘要： 为了提高工模具的服役性能,采用中频反应溅射,无灯丝离子源辅助的方法沉积了(Cr,Ti,Al)N多元硬质薄膜.分别用电子能谱、X-射线衍射、显微硬度计、划痕仪和干涉显微镜分析了薄膜的成分、相组...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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