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真空科学与技术学报2006年出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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19905
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121. 真空冷却过程中气体温度变化特性的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 为了研究真空冷却过程中真空室内气体温度的变化特性,以水为实验对象,在真空室内布置了压力及多个温度测点,进行多组真空冷却实验,从而测得在抽真空和复压过程中真空室内的压力和各点的气体温度值.研究...
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122. 类金刚石薄膜的激光损伤特性测试与分析刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年6期页码:摘要： 使用脉宽12 ns,波长1064 nm调Q Nd:YAG激光器对真空阴极电弧沉积(VCAD)法制备的类金刚石薄膜进行抗激光损伤测试,结果表明,VCAD法镀制的薄膜抗激光损伤阈值为0.6 J/...
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123. 信息刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年2期页码:摘要：
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 用脉冲电弧离子镀技术在NiTi合金生物材料表面沉积了类金刚石(DLC)薄膜.研究分析结果表明制备的DLC薄膜是四面体非晶碳薄膜;随着DLC薄膜厚度的增加,薄膜的表面粗糙度增加,薄膜中sp3的...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 利用射频反应磁控溅射方法,设计并制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜.利用原子力显微镜、X射线衍射仪和纳米压痕仪对多层膜的表面形貌、微观结构和力学性能进行了系统表征.研究结果表...
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126. 自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量.本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描...
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127. 单结GaAs量子阱太阳能电池刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 介绍了采用金属有机化学气相沉积方法制备的单结GaAs量子阱太阳能电池.X射线双晶衍射表明电池中的材料缺陷较少,具有良好结晶质量与周期性.光谱响应实验表明量子阱结构的引入可以扩展吸收光谱.与无...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 采用溶胶-凝胶技术制备溶胶,结合提拉镀膜方法,通过溶剂替换工艺在常压下制备出了纳米多孔结构的V2O5气凝胶薄膜.使用XRD、椭偏仪、XPS分别测试薄膜的晶态结构、折射率、表面成分,采用标准三...
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129. 氧流量和钛掺杂对WO3电致变色性能的影响刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 采用中频孪生磁控溅射技术制备非晶WO3薄膜.拉曼光谱、X射线衍射(XRD)、紫外分光光度计、计时安培分析仪等测试手段分析薄膜的结构、吸收光谱、透射光谱及响应时间.研究了氧流量和钛掺杂对薄膜电...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 采用中频交流磁控溅射方法制备了CuInGa(CIG)前驱膜,并采用固态硒化法进行处理,获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜.采用扫描电子显微镜和X射线衍射观察和分析了薄...
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131. 会聚光红外光学系统及其光控系统设计刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 针对平行光红外光学系统存在光斑大、能量损失大等不足,设计了主要用于中远红外带通滤光片膜厚监控的会聚光红外光学系统及其光控系统.会聚光红外光学系统采用双凸会聚透镜结构设计,系统的球差和色差都较...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 利用Gd/Ce镶嵌复合靶、采用反应射频磁控溅射技术制备了Gd2O3掺杂CeO2(GDC)氧离子导体电解质薄膜,重点探讨了基片温度对薄膜物相结构、沉积速率及生长形貌的影响.分析结果表明,不同温...
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133. 多靶连续卷绕镀膜机溅射室布气均匀性研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 大面积柔性基底上连续磁控卷绕溅射镀膜技术高速发展.本文主要描述了该类设备在镀膜均匀性方面的不足和关键因素,并着重通过理论计算分析了抽气结构对溅射室压力均匀性的影响,最后提出了优化的充气与抽气...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 利用强流脉冲离子束(HIPIB)辐照DZ4镍基高温合金表面,离子束的加速电压为250 kV,脉冲宽度为70ns,束流密度为100A/cm2,脉冲次数分别为2,5,10和15次.根据扫描电镜分...
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135. 菲涅耳硅橡胶透镜表面防护薄膜的制备与表征刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 利用硅偶联剂可在有机无机材料界面之间架起"分子桥"的特性,采用溶胶凝胶技术在柔性硅橡胶透镜表面成功地制备了无机SiO2防护薄膜.实验证明,用硅偶联剂处理硅橡胶表面,采用浸渍提拉方式镀膜,Si...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 在涡旋真空泵相关试验的基础上,通过大型有限元分析软件ANSYS对其工作过程的温度场进行了模拟分析.相关结果表明,软件分析基本上可以反映涡旋真空泵运行过程中温度场分布及变化情况,从而为其设计参...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 采用脉冲磁控溅射技术制备了Er/Yb共掺ZnO薄膜,对不同退火温度下薄膜晶体结构和光致荧光(PL)光谱进行了系统分析,探讨了退火处理所导致的晶体结构变化以及反应新相的生成对Er3+离子激活、...
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138. 掺钯纳米WO3薄膜气致变色窗研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 报道了以钨粉和H2O2为原料,采用溶胶凝胶技术和旋转镀膜方法,制备出掺钯气致变色WO3纳米薄膜;使用两块普通玻璃,其中一块内侧涂膜,做成四边封合中空气致变色窗,通以稀薄H2获得最佳致色响应时...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 采用高压探头示波器系统研究了射频辉光放电参数对自偏压的影响规律.结果发现自偏压随着射频功率平方根而线性增加,随纯Ar和Ar,C2H2混合气体气压的降低而降低,自偏压随C2H2的比率增大而增加...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 强流脉冲离子束(IPIB)及其在靶材中沉积的能量是研究束流与靶材作用的基础.根据三束材料改性国家重点实验室从俄罗斯引进TEMPⅡ型加速器实测的磁绝缘二极管(MID)的加速电压波形及法拉第杯检...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 采用反应磁控溅射方法,在室温～550℃的沉积温度下,在Si(100)和玻璃基片上沉积了厚度在纳米量级的ZrO2薄膜.通过高分辨电子显微镜、原子力显微镜和透射光谱分析,研究了沉积温度对ZrO2...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 讨论了Ga含量对四元有序缺陷化合物Cu(In,Ga)3Se5薄膜结构的影响.Ga含量的增加引起晶格扭曲系数η近似按抛物线形式增加,而其晶格常数a与c呈线性减小趋势,同时(112),(220)...
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143. 有机半导体器件的真空镀膜技术刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 重点论述了在P-Si基底上通过真空沉积技术制备PTCDA/P-Si光电探测器的制备工艺和光电性能.所制备的PTCDA/P-SI有机光电探测器具有良好的稳定性及可靠性,总体性能高于进口的无机半...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 采用电弧离子镀技术,在不同n2分压下沉积Cr/CrNx薄膜.X射线衍射技术、努氏硬度计和UMT型球-盘摩擦试验机、M342-2型腐蚀测量系统分别测试了薄膜相结构、显微硬度、摩擦磨损和抗腐蚀性...
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145. c-BN薄膜的生长过程和可重复性的研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 用常规射频(RF)溅射系统,采用三步法在p型Si(111)上高重复率地制备出高品质的立方氮化硼(c-BN)薄膜.通过对c-BN薄膜生长过程的分析,找出了传统两步法制备高品质的c-BN薄膜重复...
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146. 原子层沉积技术及应用发展概况刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 首先回顾了原子层沉积(ALD)发展历史,介绍了ALD的基本工艺和ALD薄膜具有的优良特性,并与传统的薄膜制备工艺进行了对比研究.重点阐述了ALD在微电子技术、微电子机械系统以及光学工程中的几...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 采用热丝辅助微波电子回旋共振化学汽相沉积(MW ECR-CVD)系统制备氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜.实验证明在原有的MW ECR-CVD基础上加入热丝辅助系统能有效提高a-Si:H薄膜的...
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148. 钙钛矿型锰氧化物在热控薄膜材料方面的应用刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 钙钛矿型锰氧化物材料具有热致相变特性,其半球发射率随温度不同而有较大的变化,利用这种相变特性可以制备航天器用智能型热控器件,这种器件具有重量小、不耗电、可靠性高等优点,成为未来热控涂层的重要...
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149. 多层薄膜的热应力研究刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 薄膜的应力对薄膜性能有着重要的影响.考虑了各个膜层弹性模量不同的情况,建立了多层薄膜热应力的数理模型,计算了典型多层薄膜体系中应力的分布.如果使用0级近似,每层薄膜中的热应力是由基底和膜层之...
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150. 镁合金强流脉冲电子束表面改性刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2006年z1期页码:摘要： 选用变形镁合金AZ31和铸造镁合金AZ91HP作为研究对象,进行强流脉冲电子束表面处理研究,这种处理能够有效地提高镁合金的抗蚀性和达到表面强化效果.处理后样品表面呈起伏形貌,出现典型熔坑,重...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
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| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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