调制结构对TiN/ZrN纳米多层膜的表面形貌、生长行为及力学性能的影响

• 作者: 张庆瑜 徐晓明 王娟 赵阳 辛萍
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiN/ZrN多层膜 表面形貌 生长行为 力学性能
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 23-27,31
• 页数: 6页
• 分类号: O484.5
• 字数: 3999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.z1.006

摘要

利用射频反应磁控溅射方法,设计并制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜.利用原子力显微镜、X射线衍射仪和纳米压痕仪对多层膜的表面形貌、微观结构和力学性能进行了系统表征.研究结果表明:调制结构影响着薄膜的择优生长取向、沉积速率和表面形貌;在调制周期为7nm～26nm的范围内,随调制周期的增加,TiN/ZrN多层膜的织构取向有从(100)面向(111)面转变的趋势;TiN和ZrN层的沉积速率随调制周期的变化而变化.在调制周期为15nm左右时,表面粗糙度最小,减小和增加调制周期均导致粗糙度的增加.力学性能分析表明:TiN/ZrN多层膜的硬度和弹性模量均高于单一TiN和ZrN的硬度和弹性模量,且随着调制周期的减小有逐渐增加的趋势.此外,根据调制结构和力学性能的分析结果,讨论了TiN/ZrN纳米多层膜的硬化机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐晓明	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	5	48	5.0	5.0
2	王娟	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	13	81	6.0	8.0
3	赵阳	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	8	79	5.0	8.0
4	张庆瑜	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	92	897	16.0	25.0
5	辛萍	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	2	21	2.0	2.0