自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究

• 作者: 孙剑 徐艺滨 杜国同 杨天鹏 王新胜 白亦真
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 声表面波滤波器 金刚石 ZnO薄膜 金属有机化合物气相沉积
• 年，卷（期）: 2006,（z1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 140-142
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2006.z1.034

摘要

ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量.本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描电子显微镜和室温光荧光谱对薄膜质量进行了表征.结果表明得到的ZnO薄膜取向一致,表面较均匀,光学质量良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙剑	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室物理系	3	6	2.0	2.0
5	白亦真	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室物理系	9	18	3.0	3.0
9	杨天鹏	吉林大学集成光电子国家重点实验室电子科学与工程学院	3	52	2.0	3.0
10	徐艺滨	大连理工大学物理系	3	52	2.0	3.0
11	王新胜	大连理工大学物理系	3	52	2.0	3.0