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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 1. 掺杂对ZnO溶胶凝胶薄膜光电特性影响的研究进展
    作者： 侯雪艳 巴德纯 曹青 李建昌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  955-963
    摘要： ZnO作为宽禁带透明半导体材料在光电领域具有广阔应用前景,通过掺杂可改善其光电性能.本文从第一性原理理论计算和实验方面综述了掺杂对ZnO溶胶凝胶薄膜光电特性影响的最新进展.ⅢqⅣ族及稀土元素...
  • 2. 衬底温度对ZnO∶Al薄膜热电性能影响的研究
    作者： 张妙琴 李颖贞 林清云 罗景庭 范平 郑壮豪 陈敏聪
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  964-968
    摘要： 本文采用直流磁控溅射的方法在透明玻璃衬底上制备掺铝氧化锌(ZnO∶ Al,AZO)薄膜,系统研究不同衬底温度对AZO薄膜热电性能特性的影响.实验结果表明:所制备的薄膜均呈现出N型热电半导体特...
  • 3. 基体偏压对高功率脉冲磁控溅射制备类石墨碳膜的影响研究
    作者： 张学谦 柯培玲 汪爱英 黄美东
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  969-974
    摘要： 采用高功率脉冲磁控溅射技术于Si基底表面制备了类石墨碳膜,研究了基体偏压对薄膜沉积速率、微观结构、力学性能及摩擦学性能的影响规律.结果表明:随着基底偏压的增高,GLC薄膜sp2含量呈先减小后...
  • 4. 电子回旋共振等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究
    作者： 李兴存 桑利军 赵桥桥 陈强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  975-979
    摘要： 介绍了以三甲基铝为前驱体、氢气为还原剂,在微波电子回旋共振等离子体装置中进行了等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究.确定了影响薄膜结构、表面形貌、和性能的因素.其中薄膜的晶体结构采用X射线...
  • 5. 低气压射频空心阴极放电氩等离子体发射光谱分析
    作者： 巩春志 田修波 许建平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  980-984
    摘要： 利用射频空心阴极作为放电结构,测试了放电结构在低气压下的发射光谱,并计算了电子温度,分析了不同放电条件对光谱强度及电子温度的影响.研究发现,随着气体流量的增加,氩原子谱线强度和等离子体电子温...
  • 6. 工作压强对辉光放电聚合物薄膜化学结构与表面形貌的影响
    作者： 何小珊 何智兵 杜凯 牛忠彩 贾晓琴 韦建军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  985-990
    摘要： 采用低压等离子体聚合装置制备了不同工作压强下的辉光放电聚合物(GDP)薄膜.利用傅里叶变换红外吸收光谱仪和原子力显微镜对薄膜的化学结构和表面形貌数据进行表征,对薄膜的表面形貌进行了二维功谱密...
  • 7. 不同等离子体压强时扰动磁场的演化规律
    作者： 代玉杰 张磊磊 王学慧 黄金华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  991-994
    摘要： 为了数值模拟具有Line-tied边界条件扰动磁场的演化规律,提出了一种半解析方法,这种方法可以将理想磁流体方程组通过傅里叶变换转化为两个一阶微分方程.通过求解这两个微分方程,可以求解不稳定...
  • 8. 郎穆尔探针低温低压等离子体诊断
    作者： 张杨 李敖 王庆 王晓冬 王瑞 陈文
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  995-997
    摘要： 基于Orbital Motion Limit (OML)离子收集理论,建立了等离子体参数与朗缪尔探针电流、电压之间的函数关系.将MATLAB作为编程工具,编制计算程序,采用多重滤波方法消除朗...
  • 9. 双靶磁控溅射共沉积V-C-Co薄膜的结构及力学性能
    作者： 于晓华 张晓娟 李朋 詹肇麟 郭军 黄峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  998-1001
    摘要： 通过双靶磁控溅射共沉积法,在硅(100)和康宁玻璃基片上制备了一系列不同Co含量(原子含量0～27.2％)的V-C-Co薄膜,并分别用扫描电子显微镜及其附带的X射线能谱仪分析了薄膜的生长结构...
  • 10. 磁控溅射AlN/Cu纳米复合涂层的性能研究
    作者： 刘翔 张晓娟 李朋 郭军 黄峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1002-1006
    摘要： 采用双靶反应磁控溅射方法制备了Cu含量不同的AlN/Cu纳米复合涂层.采用X射线衍射(XPD)、纳米压痕、X射线光电子能谱(XPS)等方法观察和分析了涂层的结构、力学性能以及内部化学结合状态...
  • 11. 空间太阳阵表面静电放电特性实验研究
    作者： 李凯 李得天 杨生胜 柳青 秦晓刚
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1007-1010
    摘要： 空间太阳阵表面静电放电问题日益受到关注.本文利用电子束流辐照太阳阵样品,模拟表面静电放电过程,通过测量充电电压、放电电流以及放电次数,分析静电放电特性.实验表明,太阳阵表面充电静电能是产生静...
  • 12. 铜铟镓硒薄膜太阳电池的研究进展
    作者： 张东平 梁广兴 罗景庭 范平 郑壮豪 陈超铭
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1011-1018
    摘要： 综述了国内外铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池的研究现状；概述了CIGS薄膜太阳电池的典型结构及其吸收层的材料特性;重点介绍了CIGS薄膜吸收层的制备方法,如多元共蒸发法、预置层后硒化法、单靶...
  • 13. 真空滤油机流场的数值模拟
    作者： 刘阁 张贤明 陈彬 陈立功
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1019-1025
    摘要： 为了获取真空滤油机蒸发脱水的动态特性,考虑了油水汽三相流、水滴蒸发相变等因素,建立了真空滤油机的流场的RSM模型以及水滴运动蒸发的相变方程;分析了滤油机内部的蒸汽体积浓度分布、压力分布以及轴...
  • 14. 真空管道高速列车气动噪声源特性分析
    作者： 刘加利 张卫华 张继业
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1026-1031
    摘要： 为研究真空管道中高速列车的气动噪声源特性,建立低压环境下真空管道高速列车空气动力学计算的流体模型、数学模型和数值模型,以及高速列车偶极子噪声源和四极子噪声源的计算模型,研究管道压力、列车速度...
  • 15. 超长氧化钒纳米线的制备与表征
    作者： 吴广明 吴建栋 周小卫 杨辉宇 王继超 高国华
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1032-1036
    摘要： 以V2O5和H2O2为原料,乙二胺为模板剂,采用溶胶凝胶法结合水热法制备了含有模板剂的超长氧化钒纳米线,利用傅里叶红外光谱仪、拉曼光谱仪和X射线衍射仪分析了材料的结构特征.采用扫描电子显微镜...
  • 16. 次亚磷酸钠还原制备纳米银粉及其催化性能研究
    作者： 丘泰 周浩 张小敏 张振忠 赵芳霞
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1037-1041
    摘要： 以AgNO3为银源,次亚磷酸钠为还原剂,化学还原制备了纳米银粉.通过透射电子显微镜、X射线荧光分析和X射线衍射分别对其形貌、组成和结构进行了表征.根据纳米银粉在去离子水介质中Zeta-pH关...
  • 17. MgO激子束缚能——第一性原理GW-BSE研究
    作者： 屠彦 张玮 李巧芬 杨兰兰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1042-1046
    摘要： 采用第一性原理计算了MgO的电子结构和激子光谱.通过解贝塞尔方程,得到MgO的吸收光谱,同时计算了MgO的激子束缚能.由计算结果知MgO中存在强烈的激子效应,激子束缚能约83 meV.在室温...
  • 18. 扫描控制器能量均匀性设计与研究
    作者： 赵兴龙
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1047-1050
    摘要： 论述了应用于真空光学镀膜机的扫描控制器发展水平和现状.从理论角度出发,阐明扫描控制器的工作过程.以实际仪器仪表软硬件设计开发为基础,结合相互垂直的扫描线圈实现圆形,矩形和线形磁场分布.针对扫...
  • 19. 真空碳热还原煅白制取金属镁的冷凝实验研究
    作者： 徐宝强 戴永年 曲涛 杨成博 王昱超 田阳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1051-1056
    摘要： 简要分析了真空碳热还原煅白制取金属镁过程中镁蒸气冷凝所遇到的主要问题,并通过理论计算和实验提出了解决方案.首先从实验结果的对比中发现,真空碳热还原煅白的冷凝产物会发生燃烧甚至爆炸主要是钠钾等...
  • 20. 缺陷层的材料吸收对远红外窄带滤光片的调制研究
    作者： 时家明 林志丹 汪家春 王超 程立 袁忠才 许波 赵大鹏 陈宗胜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2013年10期
    页码:  1057-1060
    摘要： 利用薄膜光学中的特征矩阵法,研究了缺陷层介质存在吸收(折射率含有虚部)时,远红外窄带滤光片随不同吸收系数的变化.结果表明,当n=2.2-0i变为2.2-0.03i时,滤光片始终有两个全向带隙...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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