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真空科学与技术学报2015年第10期出版文献
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
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真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
出版文献量（篇）
4084
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 研制了一套单光电子谱测试仪.对8英寸微通道板型光电倍增管(MCP-PMT)的性能指标进行了标定,包括单光电子谱的增益和峰谷比、光电阴极的均匀性.单光电子谱测试仪采用高精度QDC采集电荷谱.V...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 系统研究了经过研磨加工、陶瓷表面施釉及表面涂覆等工艺处理后,氧化铝陶瓷表面状态对其真空耐压性能的影响.结果发现,表面未加工的95％Al2O3陶瓷的可靠电压波动较大,波动幅度可达50％,但经过...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 提出了一种新型慢波结构—脊加载开放式矩形栅慢波系统.作为一种全金属慢波结构,脊加载开放式矩形栅适用于高功率宽频带的行波管的互作用慢波结构.利用脊相邻面的阶跃条件以及互作用区和加载区的场匹配条...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 采用射频磁控溅射法在不同氧气流量条件下制备了非晶InGaZnO (a-IGZO)薄膜.利用霍尔效应,X射线光电子能谱(XPS)和光透过率谱研究了氧气流量对a-IGZO薄膜性能影响的规律.研究...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 结合磁控溅射、lift-off工艺和脱合金法制备了纳米多孔金薄膜及其微电极结构.首先利用磁控溅射法和lift-off技术制备了金银合金叉指型微薄膜电极结构,然后采用浓硝酸通过脱合金方法进一步...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 基于屏蔽罩电位测量真空度的方法,是真空断路器真空度在线检测方法中的一个主要研究方向.但是,目前还没有一个基于本方法的实用高真空度测量系统.为了进一步探究断路器屏蔽罩电位与真空度间的关系,本文...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 在晶圆等离子刻蚀过程中,静电吸盘对调节和控制晶圆表面温度均匀性、保障晶圆加工质量起着重要作用.本文对静电吸盘的传热以及温度控制方法进行了仿真研究.首先对静电吸盘的结构和传热进行分析,将其简化...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 应用COMSOL多物理场仿真软件,基于电磁学与流体动力学理论建立真空电弧等离子体的流体—化学混合模型,数值模拟真空断路器灭弧室中交流与直流真空电弧放电过程.考虑粒子的经典扩散、漂移、碰撞、电...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 将半解析方法和差分方法相结合,数值模拟了不同等离子体压强和粘度时,粘性圆柱等离子体径向扰动磁场随半径的演化规律.数值模拟结果表明:径向扰动磁场随磁流体粘滞系数的增大而增大.短波模式对应的径向...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 采用霍尔源辉光放电产生氧等离子体和氮等离子体,对成型碳纤维/树脂复合材料进行表面处理,通过浸润性分析、红外光谱分析和扫描电镜分析,探究氮、氧等离子体对碳纤维/树脂复合材料的影响,同时考察处理...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 基于磁流体动力学控制方程,在Fluent中添加用户自定义函数(UDF)实现添加特殊源项和自定义标量,对电弧加热等离子体射流流动特性进行了数值模拟.采用不同湍流模型时计算得到氢等离子体射流速度...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 涡盘温度场是变形计算的基础,为了进行温度场的有限元计算,通过压缩区域的划分,把动态的空气压缩过程转换为静态的热通量边界条件,由冷却风测量结果计算得到冷却风换热系数边界条件.假设涡齿温度在展角...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 为了获取气体速率对油水分离动态特性的影响规律,考虑了油水汽气四相流、水滴蒸发相变等因素,建立了滤油机的油水分离流场的数学物理模型以及水滴运动蒸发的相变方程;分析了不同气体速率对油水分离过程中...
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14. 渐变式螺杆真空泵设计与试验刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 为了开发高效节能、安全运行的螺杆真空泵,在现有各类内部压缩螺杆真空泵研究的基础之上,提出了一种三段式内部压缩体积渐进式变化的螺杆转子,并使用Hermite插值理论导出了圆柱变螺距螺旋线的参数...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 真空器件中绝缘子的沿面闪络电压远低于绝缘子自身以及同等长度真空间隙的闪络电压,影响沿面闪络电压的重要因素是绝缘子表面电荷的积聚,其严重制约着真空器件的性能.为了提高真空中纳秒脉冲作用下的沿面...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 在室温下,利用直流磁控反应溅射法分别在硅片和石英玻璃上制备IGZO薄膜.通过控制溅射时氧分压的不同,研究其制备IGZO薄膜的微结构、表面形貌及其元素结合能及电学与光学特性.结果表明,在不同的...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 采用不同空气流量对42CrMo钢进行离子氮氧共渗,并和常规离子渗氮进行对比.利用金相、显微硬度计、X射线衍射仪、电化学性能分析测试仪对复合渗层的显微组织、厚度、物相、表面硬度及耐蚀性进行了测...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 利用真空蒸镀技术共蒸发Cu,Zn,Sn金属丝在玻璃衬底上制备前驱体Cu-Z-Sn(CZT),并采用高温硫化金属前驱体的方法制备Cu2ZnSnS4 (CZTS)薄膜.本文采用X射线衍射和扫描电...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 为研究硫在高温、真空下的结构、稳定性与蒸发性质,对气态硫中S1～8进行了高温、真空条件下反应的热力学计算,得到其在1273 ～ 2073 K,10 Pa的条件下可能发生反应的吉布斯自由能变....
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 分析了影响旋转阴极换热的因素,提出一种阴极冷却系统的设计方案.基于流体力学、传热学理论,根据整理自实验结果的相似准则和经验公式,应用所设计的旋转阴极换热数学模型进行了水冷系统性能参数计算,并...
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刊名： 真空科学与技术学报发表期刊： 2015年10期页码:摘要： 随着微电子领域的快速发展,用于集成电路中器件互连的铜薄膜要求具有无缺陷并且高纯度等特征.本文介绍了利用化学气相沉积技术与原子层沉积技术沉积铜薄膜工艺的研究;特别是,综述了铜-卤素、β-二酮、...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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