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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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19905
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  • 1. TM11模对大功率微波输出窗热损耗及耐热性能的影响
    作者： 张兆传 朱方 罗积润
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  785-791
    摘要： 基于一S波段圆柱盒型输出窗的电磁仿真与高频介质损耗计算,结合ANSYS软件对窗片温度与热应力分布模拟,探讨高次模式对输出窗热损耗与耐热性能方面的影响.结果表明,存在于窗片表面的TM11模可能...
  • 2. 空间行波管放大器高压电源设计研究
    作者： 王刚 苏小保 陈宇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  792-800
    摘要： 针对空间行波管放大器对高压电源的性能、效率、体积、重量等的特殊要求,提出了一种新型的高效率零电压零电流全谐振高压变换器,给出了高压变换器的拓扑结构,深入分析了变换器的工作原理和零电压零电流软...
  • 3. 两种40.5kV真空灭弧室电场和电势分布的对比研究
    作者： 康凯 段文宇 董华军 郭方准 郭英杰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  801-806
    摘要： 建立了相同型号,不同结构的两种40.5 kV真空灭弧室的轴对称模型.计算并分析了两种真空灭弧室的主屏蔽罩对换前和对换后的电场分布和电势分布,对比了不同主屏蔽罩结构下的触头表面的有效面积,并分...
  • 4. SiNx介质层非晶IGZO薄膜晶体管的光照稳定性研究
    作者： 崔璨 张群 张鼎张 蔡明谚
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  807-812
    摘要： 通过对比电特性曲线、阈值电压、亚阈值摆幅等参数的变化趋势,深入分析了低温真空制备的SiNx介质层非晶铟镓锌氧(a-IGZO)薄膜晶体管(TFT)在光照下的稳定性机理.实验结果表明,器件在光照...
  • 5. 高功率Ka波段三注级联折叠波导行波管输入输出特性研究
    作者： 尹俊辉 徐立 李斌 诸葛天祥
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  813-818
    摘要： 折叠波导慢波结构具有高功率、宽频带、高增益等优点.作为高频、大功率、宽频带微波源的慢波电路具有巨大的应用潜力.与单注折叠波导行波管相比,多注折叠波导行波管能够进一步提高行波管的增益.一般多注...
  • 6. 调制比对Ti/TiB2多层膜结构和力学性能的影响
    作者： 丁红燕 印凤 周广宏 夏木建 庄国志 方冬
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  819-824
    摘要： 根据贝壳珍珠层的结构特点,以金属Ti层为软质层,对TiB2陶瓷薄膜进行仿生增韧处理.采用磁控溅射法制备了不同调制比((A),tTiB2:tTi)的Ti/TiB2周期性多层膜,并着重研究了调制...
  • 7. 环境温度对W2N/Cu薄膜摩擦磨损性能的影响
    作者： 叶福兴 喻利花 赵洪舰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  825-830
    摘要： 利用射频磁控溅射仪制备W2N/Cu薄膜,采用高温摩擦磨损试验机、X射线衍射、扫描电镜和Bruker三维形貌仪对摩擦磨损性能及磨痕的相结构、形貌进行表征,采用“绝热法”定量计算了薄膜磨痕处所含...
  • 8. N2流量对TiAlCN涂层结构和性能的影响
    作者： 仇月东 张旭海 曾宇乔 蒋建清 谈淑咏 谭臻 邵起越
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  831-836
    摘要： 通过射频磁控溅射法制备了系列TiAlCN涂层.研究结果表明,通过调节溅射过程中N2流量,TiAlCN涂层的组成和结构均发生明显变化.很小的N2流量会导致TiAlCN涂层的晶体结构发生显著变化...
  • 9. 大气压沿面介质阻挡放电流动控制影响因素研究
    作者： 于红 任春生 尹教建 杨亮 郝泽宇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  837-843
    摘要： 大气压介质阻挡放电等离子体流动控制是通过介质阻挡放电产生形成等离子体风来影响和控制周围空气流动的一种技术手段,对于提升飞行器的气动性能具有重要意义.其在飞行器减阻增升、发动机扩稳增效等方面具...
  • 10. 一种人体可接触的大气压He等离子体射流研究
    作者： 吴伟杰 张文秀 方志 阮陈
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  844-849
    摘要： 大气压低温等离子体医学应用需要设计人体可安全接触的低温等离子体源.本文设计了一种环环电极结构的大气压低温等离子射流装置,通过合理地设计其绝缘结构和选择运行条件,在He中产生了人体可接触的大气...
  • 11. 脉冲调制型大气压低温氩等离子体射流研究
    作者： 俞永波 屠彦 户玎岚 杨兰兰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  850-854
    摘要： 利用脉冲调制正弦高压驱动在大气环境中产生了稳定的Ar等离子体射流,并研究了外加电压及脉冲调制对射流的影响.研究结果表明:实验中产生的Ar等离子体射流是一种多脉冲放电,并且在电压的正半周期和负...
  • 12. 低价氧化铝真空碳热氯化反应机理研究
    作者： 刘大春 卢勇 周岳珍 徐宝强 杨斌 董朝望 郁青春 陈秀敏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  855-861
    摘要： 为研究低价氧化铝、三氯化铝以及碳在真空下反应的机理,对该反应进行热力学计算,计算结果表明反应在1760K,60Pa的条件下可以进行.采用基于密度泛函框架下的第一性原理平面波赝势法,计算得到A...
  • 13. 脆硫铅锑矿的分解行为研究
    作者： 刘大春 徐宝强 杨斌 熊恒 王威 董朝望 邓勇 闫华龙
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  862-866
    摘要： 研究脆硫铅锑矿在真空条件下的热解行为,对真空冶金法处理脆硫铅锑矿具有重要意义.本文采用实验研究的方法,对各个条件下脆硫铅锑矿真空炉热解产物的物相结构和主要金属元素含量进行了分析,研究结果表明...
  • 14. 真空碳热还原氧化镁制取金属镁的冷凝实验研究
    作者： 刘大春 刘海 徐宝强 戴永年 曲涛 杨斌 田阳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  867-871
    摘要： 采用冷凝区金属Mg直收率、X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)等手段和方法,研究了冷凝温度和温度梯度对真空碳热法还原氧化镁产生的Mg蒸气冷凝的影响.研究结果表明,在30～ 100 Pa时...
  • 15. 铜铟铝硒薄膜离子束溅射制备与表征
    作者： 梁广兴 范平 邱云明 陈超铭
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  872-877
    摘要： 采用离子束溅射方法,在玻璃衬底上沉积Cu,In,Al和Se,在同一真空环境下进行退火处理,制备得到铜铟铝硒(CIAs)太阳电池吸收层薄膜.利用扫描电镜、X射线衍射仪、能谱仪、四探针系统、分光...
  • 16. 各阶段缓冲层对单结非晶硅锗电池的影响
    作者： 张军芳 李同楷 杜鹏 薛俊明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  878-883
    摘要： 通过等离子体增强化学气相沉积工艺制备非晶硅锗电池各层材料,系统地研究了非晶硅锗(a-SiGe∶H)电池中各界面缓冲层和本征层Ge含量的缓变过渡对电池性能的影响.研究发现,P/I界面缓冲层的a...
  • 17. 可调式蒸汽喷射器的三维数值模拟及分析
    作者： 刘燕 张少峰 杜亚威 谢江维
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  884-891
    摘要： 在实际工业中,工作蒸汽压力经常波动,传统喷射器由于其结构固定,在操作工况偏离设计值时,性能往往会严重恶化.本文借助数值模拟工具STAR-CCM+,采用有限体积法、壁面函数修正法和标准κ-ε湍...
  • 18. 空间隔离原子层沉积系统的研究
    作者： 何文杰 褚波 陈蓉 高玉乐
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  892-896
    摘要： 原子层沉积(ALD)技术制备的薄膜在纳米尺度精确可控,并且各处薄膜厚度具有良好的均匀性.空间隔离原子层沉积(SALD)相比于时间隔离ALD技术,此工艺更易实现大面积基底沉积和连续沉积.由于S...
  • 19. 罗茨鼓风机磁性液体密封的研究
    作者： 任旦元 李德才 蔡玉强
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  897-901
    摘要： 在醇制油行业,由于输送的介质有毒,而罗茨鼓风机原有的迷宫密封不能实现零泄漏,作者对鼓风机的密封结构进行了改进,用磁性液体密封替换原有的迷宫密封,设计了极靴、永磁铁等密封零件,运用仿真软件对密...
  • 20. 光子晶体膜制备工艺对其性能的影响
    作者： 张青翠 李克训 石其禄 赵亚丽 魏学红
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  902-907
    摘要： 针对电磁兼容材料高屏效和高透光相互制约的技术难题,本文设计了以ITO/Ag为周期的光子晶体膜.本文着重分析了制备工艺对其屏蔽效能、透光率和导电性能的影响.研究结果表明,随着氧氩比的增加,透光...
  • 21. 真空热加工制备高孔率泡沫钛的电磁屏蔽性能
    作者： 侯红亮 刘培生 张艳苓 王耀奇 顷淮斌
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年7期
    页码:  908-912
    摘要： 利用真空热加工技术制备了具有不同结构的高孔率泡沫钛,研究了它们在无线电波频率范围的电磁屏蔽效能.这些泡沫钛样品的孔隙尺寸在毫米级,孔率都在85％以上.工作结果表明,这些泡沫钛具有明显的电磁屏...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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