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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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总被引数（次）
19905
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  • 1. 短间隙短路放电的场增强因子研究
    作者： 刘树林 段江龙 王玉婷 钟久明
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1035-1040
    摘要： 运用扫描电镜对IEC安全火花试验装置电极系统的微观表面形貌进行了扫面测试,测试结果表明镉盘电极表面存在高度和半径均为微米量级的微凸起,而钨丝电极表面无明显微凸起;以镉盘为阴极,建立了电极系统...
  • 2. 多孔硅层结构和氧含量分布对电子发射特性的影响
    作者： 何力 张小宁 张霄 王文江
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1041-1046
    摘要： 为了研究较厚的多孔硅层结构及氧化分布对电子发射特性的影响,采用恒流和脉冲腐蚀制备了单层和多层结构的多孔硅,并对这两种结构的多孔硅分别进行定场强和变场强电化学氧化.根据扫描电子显微镜和X射线能...
  • 3. 多注集成带状注微波管电子光学传输特性研究
    作者： 卢姀 张欣玲 李斌 胡权 诸葛天祥
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1047-1053
    摘要： 带状注在高频率、高功率、大电流密度等方面具有很好的前景,且其平面形的结构对于多注集成来说极具优势.为此该文选取了相对便于多注集成的均匀磁场、Wiggler磁场和周期会切(PCM)磁场,使用微...
  • 4. 氮掺杂非晶氧化铟锌薄膜晶体管的器件稳定性改善研究
    作者： 严海 张群 蔡韵竹 谢汉萍
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1054-1058
    摘要： 采用射频磁控溅射方法,在P型硅基片上制备了非晶掺氮氧化铟锌沟道层及其薄膜晶体管(a-IZO∶ N-TFTs)器件,探讨了氮气对a-IZO∶ N-TTs性能和电学稳定性的影响.研究发现,当沉积...
  • 5. 慢波结构加工精度对太赫兹表面波振荡器的性能影响
    作者： 曾鹏 李爽 王光强 王建国 陆希成
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1059-1063
    摘要： 随着频率的升高,慢波真空电子器件中慢波结构的尺寸迅速缩小.为给太赫兹波段器件的设计和加工提供指导,研究了慢波结构加工精度对0.34 THz过模表面波振荡器的性能影响.采用小信号理论和自行研制...
  • 6. 0.1 THz功率探头温度分布的ANSYS仿真分析
    作者： 冯彤 王自成 罗积润 马思园
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1064-1068
    摘要： 基于ANSYS有限元分析软件的热分析功能,在匹配吸收和材料高温环境稳定工作的条件下,对0.1 THz波功率探头两种不同结构的功率敏感体进行建模,在0～50 mW输入功率条件下,仿真计算它们的...
  • 7. THz扩展互作用振荡器的多段式折叠波导高频结构注波互作用分析
    作者： 刘文鑫 朱觉远 王勇 高云云
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1069-1074
    摘要： 为了提高大赫兹扩展互作用振荡器(EIO)的输出功率,改进了两段式折叠波导慢波结构,并提出了三段式折叠波导新型慢波结构.分析了折叠波导的色散特性,通过进行三维粒子模拟,研究了单段式、两段式和三...
  • 8. 氩等离子体射流的摩尔分布和光谱变化研究
    作者： 俞永波 屠彦 户玎岚 杨兰兰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1075-1081
    摘要： 利用10 kHz的正弦波高压电源驱动在大气环境中产生了稳定的Ar等离子体射流.结合射流的图像,基于Ar在空气中的摩尔分数分布和不同放电位置处光谱的变化,研究了Ar和空气之间的交互影响.随着外...
  • 9. 基于弧后鞘层发展分析的直流真空断路器换流参数优化
    作者： 于德恩 刘晓明 邹积岩
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1082-1087
    摘要： 搭建直流真空断路器模块,基于基尔霍夫定律,结合四阶龙格库塔法,对直流真空断路器开断过程各阶段进行数值计算与分析.以寻求换流电容器最小化为目标,利用经典遗传算法,优化换流回路参数.同时,基于连...
  • 10. 20cm口径离子推力器寿命模型及评估
    作者： 仲小清 周志成 张天平 王敏 陈娟娟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1088-1093
    摘要： 为了系统地分析LIPS-200离子推力器交换电荷(CEX)离子对加速栅壁面的轰击溅射腐蚀机理,本文针对该推力器栅极系统最关键的两种磨损失效模式,即加速栅结构失效和电子反流失效,利用数值模拟P...
  • 11. 基于M-C方法的EAST-NBI束流输运空间气体粒子分布模拟
    作者： 王国栋 王庆生 胡纯栋 谢远来 陈长琦 黄稳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1094-1099
    摘要： 中性束注入器(Neutral Beam Injector,简称NBI)是产生高能中性粒子辅助加热托卡马克(EAST)等离子体和驱动电流的装置.基于EAST-NBI装置,应用稀薄气体动力学理论...
  • 12. 聚合物的放气分率与放气模型研究
    作者： 吴晓斌 张罗莎 王宇 王魁波 罗艳
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1100-1104
    摘要： 在某些工程应用中,除了关注真空材料的总放气率之外,还需知道放出的单一气体的放气分率.本文采用定容升压法对三类聚合物样品进行放气率测试和放气组分分析;将四极质谱计和真空规对比校准修正所测的放气...
  • 13. 基于相似理论的真空管道交通系统运行特性的研究
    作者： 刘海龙 刘英杰 周艳 李庆领 贾文广
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1105-1111
    摘要： 为了探索列车运行时真空管道交通(ETT)系统中热压耦合的气动特性,建立EET系统三维数学模型及物理模型,对系统的运行特性进行了仿真,结果表明:列车的最前端驻点处出现压力的最大值,车尾卡门涡街...
  • 14. 采用离子风实现敞开式离子源和微型气泵集成系统的设计与实验
    作者： 李华 李玉凯 郭超群 陈真诚 陈耀彬
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1112-1118
    摘要： 为了实现敞开式离子源和微型气泵的系统集成,设计了一种小型阵列式针-柱电极结构.采用0～-20000 V,最大输出电流5mA的负直流高压电源提供负高压,实现针-柱间稳定的负电晕放电,产生离子风...
  • 15. 高真空多层绝热储罐中微热型复合吸氢剂优化实验研究
    作者： 汪荣顺 王健 陆佳 魏蔚
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1119-1123
    摘要： 氢气是造成高真空多层绝热低温储罐夹层真空度下降的主要原因,为此搭建了吸氢试验台,研究了廉价微热型吸氢剂CuO+C在不同质量比例下的吸氢性能和吸氢过程曲线;研究表明:CuO与C的最佳质量比为1...
  • 16. LaTiO3薄膜的光学及激光损伤特性
    作者： 徐均琪 杭良毅 程耀进 苏俊宏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1124-1129
    摘要： 研究了工艺条件(沉积温度、真空度、蒸发束流)对LaTiO3薄膜光学和激光损伤特性的影响.采用椭偏法测量了薄膜的光学常数,分析了不同工艺条件下制备薄膜的折射率和消光系数,得出工艺参数与薄膜光学...
  • 17. 交/直流电源模式下BaTiO3薄膜生长方式及微观结构研究
    作者： 唐鹏 张果戈 李康 李文芳 王敏
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1130-1135
    摘要： Ba(OH)2电解液中,分别采用交/直流源微弧氧化法在Ti基体表面制备了钛酸钡薄膜,并分别研究了两种薄膜的生长方式及微观结构.结果表明:交、直流源模式下所得BaTiO3薄膜的晶体结构分别主要...
  • 18. 等离子体织构化的n-Si与P3HT组成杂化太阳能电池的性能研究
    作者： 姜刘洋 王俊 王涛 辛煜
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1136-1141
    摘要： 在容性耦合SF6/O2等离子体织构化处理的单晶Si衬底上旋涂P3HT(poly(3-hexylthiophene))以制作杂化太阳能电池,研究不同激发频率下得到的晶硅表面纳米织构对该杂化电池...
  • 19. AlTiN涂层的高温摩擦与磨损行为
    作者： 孔德军 郭皓元
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1142-1148
    摘要： 采用阴极离子镀方法在YT14硬质合金刀具表面制备了AlTiN涂层,用高温摩擦磨损试验机考察AlTiN涂层在800℃高温下摩擦-磨损行为.通过扫描电镜观察涂层磨损前后微观形貌,利用X射线衍射和...
  • 20. PECVD变结构腔室压力分布规律研究
    作者： 周玉林 常宁 杨铁牛 黄尊地
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1149-1156
    摘要： 在真空半导体产业发展过程中,决定产品质量的关键因素是生产工艺过程的参数控制,等离子体增强化学气相沉积(PECVD)中比较重要的一个参数为腔室内压力值.通过变结构腔室压力测量试验验证,得到正确...
  • 21. 生物纳流控芯片控制电极的设计与制备
    作者： 刘坤 巴德纯 朱彤 王东阳 陈树雷
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2015年9期
    页码:  1157-1162
    摘要： 纳流控芯片可以通过控制电极产生的场致效应对生物大分子的运动进行操纵,在痕量生物分子的探测、分离与富集等方面,具有广阔的应用前景.本文依据生物分子操纵芯片的结构和功能,设计并绘制了芯片电极的结...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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